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縱觀半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷史，不難發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國(guó)，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國(guó)臺(tái)灣與韓國(guó)。
隨著中國(guó)高端制造技術(shù)的不斷發(fā)展，與本身龐大的市場(chǎng)需求相互幫襯，未來(lái)十年，中國(guó)有望成為半導(dǎo)體芯片制造的全球中心。
目前，在國(guó)家重大科技專項(xiàng)的支持下，集成電路主要工藝設(shè)備如PVD、PECVD、CMP、介質(zhì)刻蝕機(jī)、CMP等技術(shù)均有顯著提升。而IC晶圓生產(chǎn)線的設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率也在不斷提高。設(shè)備技術(shù)的提升也拉高了對(duì)光學(xué)傳感器性能的需求。除了對(duì)精度、穩(wěn)定性等性能要達(dá)到極高的標(biāo)準(zhǔn)外，傳感器也被要求實(shí)現(xiàn)更多的檢測(cè)任務(wù)。
作為有著超過(guò)75年歷史的工業(yè)傳感器領(lǐng)先生產(chǎn)廠商，SICK具有深厚的技術(shù)積累，豐富的產(chǎn)品種類，可以為半導(dǎo)體設(shè)備廠商提供更多樣的產(chǎn)品、更優(yōu)異的性能以及更專業(yè)的服務(wù)。
1 硅板厚度測(cè)量
產(chǎn)品系列：
OD5000位移測(cè)量傳感器
訂貨號(hào)：6063621
客戶應(yīng)用:
1.太陽(yáng)能硅片分選機(jī)，客戶需求在皮帶輸送線上檢測(cè)硅片的厚度，精度要求為2um
2.采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來(lái)測(cè)量硅片的厚度
3.客戶利用上位機(jī)接受數(shù)據(jù)做算法處理，判定硅片的規(guī)格
客戶受益:
雙頭側(cè)厚，通過(guò)以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內(nèi)部評(píng)價(jià)單元，無(wú)需額外控制器計(jì)算
高達(dá)80kHZ測(cè)量頻率，準(zhǔn)確測(cè)量微小變化
激光定位更加柔性，可視覺(jué)，產(chǎn)品定位精度更高
實(shí)時(shí)在線測(cè)量，相對(duì)于線激光方案，節(jié)省成本，精度更高
2 石英載具到位檢測(cè)
產(chǎn)品系列：
WTF12G
訂貨號(hào)：1065719
客戶應(yīng)用：
1.石英載具裝載硅片進(jìn)行熱處理、涂層等一系列工藝流程。
2.需要對(duì)半透明石英載具進(jìn)行穩(wěn)定到位檢測(cè)，由于熱處理中溫度較高，無(wú)法安裝反射板，只能選擇漫反射。
3.檢測(cè)距離較遠(yuǎn)，無(wú)法使用V鏡頭光電傳感器。
客戶受益：
WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無(wú)需反射板，只需對(duì)背景進(jìn)行示教即可
可以穩(wěn)定地檢測(cè)透明、半透明等物體
檢測(cè)距離可達(dá)700mm
3 硅片檢測(cè)：
產(chǎn)品系列：
 
G2F，WTV4FE
WTV4FE訂貨號(hào)：1105444
GTB2F訂貨號(hào)：1093737
客戶應(yīng)用：
1.檢測(cè)硅片的到位與有無(wú)，硅片表面光學(xué)性能特殊，普通漫反射光電很難穩(wěn)定檢測(cè)
2.安裝空間十分有限，需要迷你型尺寸光電
3.無(wú)法安裝鏡反射與對(duì)射型光電
客戶受益：
G2F扁平型外觀設(shè)計(jì)，可以安裝在狹小的空間中
獨(dú)特的V型鏡頭設(shè)計(jì)，可穩(wěn)定檢測(cè)高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。
WTV4FE可進(jìn)行旋按式示教，V鏡頭檢測(cè)距離增加至50mm
產(chǎn)品系列：
WTT4SLC
訂貨號(hào)：1097190
應(yīng)用需求要點(diǎn)：
1.檢測(cè)距離400-500mm
2.檢測(cè)邊緣，客戶需要光斑盡可能小
3.安裝位置有限制，只能接受漫反射光電
客戶受益：
WTT4SLC時(shí)間飛行原理，可穩(wěn)定從傾斜角度或側(cè)面檢測(cè)帶有弧度的物體，并且不受物體表面顏色和材質(zhì)的影響
具有優(yōu)異的背景抑制性能，可穩(wěn)定屏蔽背景干擾
漫反射檢測(cè)，最遠(yuǎn)可達(dá)到1.3m檢測(cè)距離
光斑聚攏，4mm（1m），可以從側(cè)面檢測(cè)薄片邊緣
4 Roller（輸送輪）粗糙度區(qū)分：
產(chǎn)品系列：
Glare系列光澤度傳感器
應(yīng)用需求要點(diǎn)：
1.現(xiàn)場(chǎng)面板傳輸設(shè)備運(yùn)輸基板一段時(shí)間后，基板與Roller摩擦導(dǎo)致Roller表面光滑，失去輸送力。
2.不同摩擦情況不同導(dǎo)致基板受力不均勻，造成良率下降，稼動(dòng)率降低，客戶使用Glare光澤度傳感器對(duì)Roller表面粗糙程度進(jìn)行檢測(cè)。
客戶受益：
原本客戶解決方法為工作人員定期停機(jī)檢查，使用自制比對(duì)卡進(jìn)行人眼對(duì)比觀察。
使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下：
降低檢測(cè)誤差
減少檢查時(shí)間
節(jié)省人力資源
點(diǎn)擊查看電子資料
Glare系列光澤度傳感器
PowerProx系列 MultiTask光電傳感器
W4F 迷你型光電傳感器
位移測(cè)量傳感器OD5000
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