測量工業顯微鏡的景深是衡量其對高低不平的工件進行清晰成像能力的重要參數,指在顯微鏡調焦后,物體表面能保持清晰成像的軸向范圍(即沿光軸方向的距離)。例如,當顯微鏡聚焦于工件的某一平面時,該平面上下一定范圍內的區域仍能清晰可見,這個范圍就是景深。景深越大,能同時看清的工件高低差范圍越廣,尤其適合復雜曲面或臺階類零件的測量。?
景深與放大倍數呈反比關系:放大倍數越高,景深越;放大倍數越低,景深越大。這是因為高倍物鏡的數值孔徑(NA)更大,光線匯聚能力強,僅能對極薄的平面成像清晰,例如 100 倍物鏡的景深可能僅為幾微米,而 5 倍物鏡的景深可達幾十微米甚至上百微米。以測量手機外殼的臺階高度為例,若使用 20 倍物鏡(景深約 10μm),可能需要多次調焦才能看清不同臺階面;而換用 5 倍物鏡(景深約 50μm),一次調焦即可同時清晰呈現多個臺階,簡化測量流程。?
這種關系的本質與光學成像原理相關:放大倍數由物鏡焦距決定,焦距越短(高倍),鏡頭與工件的距離越近,光線通過物鏡后形成的像差校正范圍越窄,導致景深縮小;反之,長焦距物鏡(低倍)的成像范圍更寬,景深自然增大。在實際測量中,需根據工件的表面起伏程度選擇合適的放大倍數,若工件表面平整度高(如精密軸承的滾道),可選用高倍物鏡追求測量精度;若工件存在明顯凹凸(如模具的型腔、齒輪的齒面),則需優先保證足夠景深,避免頻繁調焦影響效率。?
此外,景深還受光源亮度、工件反光率等因素影響,但核心影響因素仍是放大倍數。因此,在選擇測量方案時,需在放大倍數(精度)與景深(范圍)之間找到平衡,確保既能看清細節,又能覆蓋工件的整體形態。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/
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