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        行動元化繁為簡,助力晶圓搬運機器人性能升級

        http://www.kblhh.cn 2023-04-18 11:04 來源:伺服與運動控制

        日前,AI工業(yè)工程化平臺行動元,宣布推出面向晶圓搬運機器人的新一代智能運動控制解決方案,通過融合大數(shù)據(jù)模型、數(shù)字孿生,以及人工智能技術(shù),形成高度集成化方案,不僅大幅簡化了客戶對運動部件選型測試的全過程,而且實現(xiàn)了晶圓搬運機器人關(guān)鍵性能的階躍式升級。

        眾所周知,晶圓是半導(dǎo)體芯片的核心原料,需要在制膜、氧化、擴散、照相制版和光刻等多個生產(chǎn)工序之間進(jìn)行流轉(zhuǎn)。在整個過程中,晶圓搬運機器人承擔(dān)著對晶圓這一嬌貴部件的運輸重任,通常由底座、機械臂、托盤,以及前后、旋轉(zhuǎn)、俯仰、上下等多個軸組成,其末端的穩(wěn)定性和移動速度成為關(guān)鍵性能指標(biāo),直接影響著產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率。

        正因如此,晶圓搬運機器人的生產(chǎn)制造企業(yè),往往需要耗費大量的時間和資源對機械臂關(guān)節(jié)模組的各個運動部件進(jìn)行反復(fù)地選型、適配、調(diào)試,以期達(dá)到理想的整體性能要求。

        行動元為晶圓搬運機器人所打造的智能運動控制解決方案,依托獨有的AI工業(yè)工程化平臺,對行動元智能驅(qū)動器、力矩電機,以及編碼器等相關(guān)運動單元進(jìn)行建模,在平臺上完成選型、適配、測試等工程化過程,從而在眾多種部件組合中,匹配和驗證出最符合客戶要求的一整套解決方案。與傳統(tǒng)模式相比,行動元AI工業(yè)工程化平臺不僅在綜合性能上高效地給出了“最優(yōu)解”,而且大幅簡化了客戶選型、接線、調(diào)試,以及維護(hù)工作,幫助工程師們從繁瑣而耗時的任務(wù)中解脫出來,把有限的精力和時間集中到自身設(shè)備的研發(fā)等核心工作之中。

        經(jīng)過在客戶設(shè)備上的實際測試驗證,行動元智能運動控制解決方案所驅(qū)動的晶圓搬運機器人,在2米/秒的操作速度下,到位后位置誤差小于正負(fù)200個脈沖,整定時間不到100毫秒,關(guān)鍵性能邁上了新的臺階,在競爭日益激烈的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,展現(xiàn)出更強勁的市場競爭力,讓終端用戶實現(xiàn)更加穩(wěn)定、精密、高效的晶圓加工作業(yè)。

        對行動元而言,這一切只是AI工業(yè)工程化平臺小露身手的一個應(yīng)用。目前,基于該平臺所打造的行動元智能運動控制解決方案,已穩(wěn)定應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C、協(xié)作機器人、醫(yī)療機器人、AGV、電動工具、新能源等多個領(lǐng)域。隨著工業(yè)4.0時代的到來,行動元AI工業(yè)工程化平臺也將不斷演進(jìn)和完善,通過運用全新的技術(shù)范式,根本性重構(gòu)需求、設(shè)計、選型、開發(fā)、測試、驗證及運營等工程過程,從而極大降低開發(fā)成本、提升產(chǎn)品面世效率,并由此構(gòu)建起一套全新的工業(yè)生態(tài)體系,推進(jìn)工業(yè)全流程的革新和提速,創(chuàng)造人所不及的非凡價值。

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