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        中國自動化學會專家咨詢工作委員會指定宣傳媒體
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        行動元化繁為簡,助力晶圓搬運機器人性能升級

        http://www.kblhh.cn 2023-04-18 11:04 來源:伺服與運動控制

        日前,AI工業工程化平臺行動元,宣布推出面向晶圓搬運機器人的新一代智能運動控制解決方案,通過融合大數據模型、數字孿生,以及人工智能技術,形成高度集成化方案,不僅大幅簡化了客戶對運動部件選型測試的全過程,而且實現了晶圓搬運機器人關鍵性能的階躍式升級。

        眾所周知,晶圓是半導體芯片的核心原料,需要在制膜、氧化、擴散、照相制版和光刻等多個生產工序之間進行流轉。在整個過程中,晶圓搬運機器人承擔著對晶圓這一嬌貴部件的運輸重任,通常由底座、機械臂、托盤,以及前后、旋轉、俯仰、上下等多個軸組成,其末端的穩定性和移動速度成為關鍵性能指標,直接影響著產品良率和生產效率。

        正因如此,晶圓搬運機器人的生產制造企業,往往需要耗費大量的時間和資源對機械臂關節模組的各個運動部件進行反復地選型、適配、調試,以期達到理想的整體性能要求。

        行動元為晶圓搬運機器人所打造的智能運動控制解決方案,依托獨有的AI工業工程化平臺,對行動元智能驅動器、力矩電機,以及編碼器等相關運動單元進行建模,在平臺上完成選型、適配、測試等工程化過程,從而在眾多種部件組合中,匹配和驗證出最符合客戶要求的一整套解決方案。與傳統模式相比,行動元AI工業工程化平臺不僅在綜合性能上高效地給出了“最優解”,而且大幅簡化了客戶選型、接線、調試,以及維護工作,幫助工程師們從繁瑣而耗時的任務中解脫出來,把有限的精力和時間集中到自身設備的研發等核心工作之中。

        經過在客戶設備上的實際測試驗證,行動元智能運動控制解決方案所驅動的晶圓搬運機器人,在2米/秒的操作速度下,到位后位置誤差小于正負200個脈沖,整定時間不到100毫秒,關鍵性能邁上了新的臺階,在競爭日益激烈的半導體設備領域,展現出更強勁的市場競爭力,讓終端用戶實現更加穩定、精密、高效的晶圓加工作業。

        對行動元而言,這一切只是AI工業工程化平臺小露身手的一個應用。目前,基于該平臺所打造的行動元智能運動控制解決方案,已穩定應用于半導體、3C、協作機器人、醫療機器人、AGV、電動工具、新能源等多個領域。隨著工業4.0時代的到來,行動元AI工業工程化平臺也將不斷演進和完善,通過運用全新的技術范式,根本性重構需求、設計、選型、開發、測試、驗證及運營等工程過程,從而極大降低開發成本、提升產品面世效率,并由此構建起一套全新的工業生態體系,推進工業全流程的革新和提速,創造人所不及的非凡價值。

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