國(guó)務(wù)院出臺(tái)的《振興裝備制造業(yè)若干意見》中的第25項(xiàng)明確提出，發(fā)展集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無(wú)鉛工藝的整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備、數(shù)字化醫(yī)療影像設(shè)備、生物工程和醫(yī)藥生產(chǎn)專用設(shè)備等，促進(jìn)裝備制造業(yè)全面升級(jí)。

　　兩年過(guò)去了，集成電路關(guān)鍵設(shè)備、電子專用設(shè)備工業(yè)進(jìn)展到什么程度？所產(chǎn)生的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益以及對(duì)相關(guān)行業(yè)的帶動(dòng)作用如何？

　　記者帶著問(wèn)題采訪了中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)金存忠。金存忠認(rèn)為，集成電路、電子元器件等電子專用設(shè)備工業(yè)是當(dāng)今全球裝備制造業(yè)中最尖端的技術(shù)之一，是信息技術(shù)硬件的核心，是我國(guó)自主創(chuàng)新尋求突破的關(guān)鍵，政府一直予以高度重視。電子專用設(shè)備工業(yè)的發(fā)展水平，決定著一個(gè)國(guó)家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。

　　自主創(chuàng)新技術(shù)能力迅速提升

　　金存忠指出，在國(guó)家大力扶持下，我國(guó)集成電路關(guān)鍵設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)、電子專用設(shè)備和儀器的自主創(chuàng)新能力迅速提升。

　　據(jù)悉，集成電路生產(chǎn)線中的兩項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備———100nm高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)已經(jīng)進(jìn)入大生產(chǎn)線正常運(yùn)行，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)外同類機(jī)型的先進(jìn)水平。2008年，65nm高密度等離子體刻蝕機(jī)也進(jìn)入了12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線。基于兩種設(shè)備良好的本土化加工制造基礎(chǔ)，可以和國(guó)外同類新設(shè)備進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)。

　　100nm投影光刻機(jī)在關(guān)鍵子系統(tǒng)研發(fā)及整機(jī)集成測(cè)試等方面已取得重大進(jìn)展并獲專利50多項(xiàng)，2010年前可望進(jìn)入生產(chǎn)線。“8英寸立式擴(kuò)散爐”2008年完成樣機(jī)，2009年進(jìn)入生產(chǎn)線考核。8英寸集成電路后工序生產(chǎn)線的主要設(shè)備自動(dòng)劃片機(jī)、自動(dòng)粘片機(jī)、引線鍵合機(jī)已出樣機(jī)，2009年進(jìn)入生產(chǎn)線考核，2010年可望進(jìn)入生產(chǎn)線。

　　隨著技術(shù)創(chuàng)新能力的提升，涌現(xiàn)出一批自主開發(fā)的IC產(chǎn)品。在金卡工程的帶動(dòng)下，經(jīng)過(guò)政府、企業(yè)等各方共同努力，以二代身份證、手機(jī)SIM卡等為代表的IC卡芯片實(shí)現(xiàn)了突破。“龍芯”、移動(dòng)應(yīng)用處理器、基帶芯片、數(shù)字多媒體、音視頻處理、高清數(shù)字電視、圖像處理、功率管理以及存儲(chǔ)卡控制等許多IC產(chǎn)品開發(fā)成功，相當(dāng)一批IC已投入量產(chǎn)，不僅滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求，有的還進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。

　　金存忠進(jìn)一步強(qiáng)調(diào)，進(jìn)入“十一五”后，行業(yè)內(nèi)的主要企業(yè)十分重視自主創(chuàng)新能力的建設(shè)：在關(guān)鍵設(shè)備的開發(fā)中避開已有的專利，建立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)；積極吸收國(guó)內(nèi)外的高科技人才，行業(yè)內(nèi)一批骨干企業(yè)已經(jīng)建立起一支具有自主創(chuàng)新能力的研發(fā)團(tuán)隊(duì)；在國(guó)家政策的支持下，在關(guān)鍵設(shè)備的開發(fā)中，迅速提高了企業(yè)的自主創(chuàng)新能力。

　　與國(guó)外先進(jìn)水平差距猶大

　　金存忠認(rèn)為，雖然我國(guó)集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備等電子專用設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新能力不斷提高，但是由于電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)是裝備制造業(yè)的重要分支，是電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)和工藝技術(shù)的高度融合，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端，基礎(chǔ)性強(qiáng)、關(guān)聯(lián)度高，是技術(shù)難度最大，復(fù)雜度、附加值和進(jìn)入門檻最高的領(lǐng)域，由于起步晚，與國(guó)外先進(jìn)水平還有不小的差距。

　　這些差距和問(wèn)題重要表現(xiàn)在：自主創(chuàng)新能力與產(chǎn)業(yè)高科技要求差距較大，導(dǎo)致市場(chǎng)需求大、高水平的設(shè)備開發(fā)緩慢，而低水平的設(shè)備重復(fù)生產(chǎn)，低價(jià)競(jìng)爭(zhēng)；設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)品的制造工藝脫離，影響了新產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程；高檔電子產(chǎn)品的生產(chǎn)線設(shè)備成套較差，缺乏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力；由于我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)主要依賴國(guó)外市場(chǎng)，在全球金融風(fēng)暴的沖擊下，設(shè)備的需求急劇下降，使我國(guó)成長(zhǎng)最快的太陽(yáng)能電池設(shè)備行業(yè)受到較大沖擊。

　　金存忠分析認(rèn)為，產(chǎn)業(yè)政策尚未完全落實(shí)到位，投融資環(huán)境還有待進(jìn)一步改善；缺乏核心技術(shù)和自主品牌等是造成差距的主要原因。

　　創(chuàng)新仍為產(chǎn)業(yè)發(fā)展主旋律

　　“創(chuàng)新是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的靈魂，在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)期內(nèi)，堅(jiān)持引進(jìn)、消化、吸收、再創(chuàng)新，加強(qiáng)集成創(chuàng)新，逐步推進(jìn)原始創(chuàng)新，把掌握關(guān)鍵技術(shù)和核心技術(shù)放在重要地位，仍是我們的主要任務(wù)。”針對(duì)產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)的問(wèn)題，金存忠提出五點(diǎn)建議。

　　繼續(xù)鼓勵(lì)企業(yè)引進(jìn)高科技人才，加快提高企業(yè)自主創(chuàng)新的能力。

　　支持在設(shè)備制造廠內(nèi)建立相應(yīng)的產(chǎn)品生產(chǎn)試驗(yàn)線，加快設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

　　支持市場(chǎng)熱銷的電子產(chǎn)品生產(chǎn)線中的關(guān)鍵設(shè)備開發(fā)。如LED前工序（芯片）制造設(shè)備，SMT生產(chǎn)線中的自動(dòng)貼片機(jī)、印刷機(jī)，LCD前工序生產(chǎn)線和非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線中的PECVD設(shè)備等。

　　國(guó)家對(duì)電子專用設(shè)備制造企業(yè)需要進(jìn)口的設(shè)備配套零部件的進(jìn)口關(guān)稅和進(jìn)口環(huán)節(jié)增值稅實(shí)行先征后退的優(yōu)惠政策，鼓勵(lì)企業(yè)使用高質(zhì)量的零部件，提高國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

　　在當(dāng)前經(jīng)濟(jì)形勢(shì)下，擴(kuò)大內(nèi)需是拉動(dòng)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)最有效的措施。如加快我國(guó)太陽(yáng)能發(fā)電站的建設(shè)投資，改變我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)主要依賴國(guó)外市場(chǎng)的被動(dòng)局面。