晶元抓取工藝觀測難點

• 動作捕捉難：常規觀測設備無法精準捕捉機械臂毫秒級的運動細節。

• 損傷難溯源：晶元抓取后易出現隱性崩缺，難以關聯振動源。

• 工藝優化慢：缺乏全局運動軌跡與姿態參數，機械系統調優依賴經驗試錯。

   

深視智能的“解題思路”

面對晶元抓取過程 “快、精、微” 的特點，深視智能提出基于高速攝像技術的晶元抓取工藝優化方案：

01 毫秒級動態解析

精靈系列高速攝像機（型號：SH2-203）以2000fps高幀率，將機械臂吸盤取放晶元的過程拆解成連貫的慢動作序列，工程師通過對高速視頻的逐幀分析，可直觀發現傳統方式難以察覺的動態問題。

02 高清畫質清晰呈現

精靈系列高速攝像機以1920x1080高清分辨率，清晰記錄吸盤接觸形變、機械臂振幅及定位偏差等微觀特征，助力工程師清晰觀察晶元與吸盤接觸時的形變、晶元離地時的微小振動、傳輸過程中的姿態穩定性等關鍵細節。

03 數據驅動工藝升級

借助配套運動分析軟件，工程師可進一步提取位移、速度、加速度等動態數據，為運動控制算法的迭代和機械系統的協同調優提供有力的數據支撐，進而提升半導體制造設備運行穩定性與生產效率。

應用價值

01  突破產線部署限制

深視智能精靈系列高速攝像機以72×72×89mm小巧體積和680g輕量化設計，可輕松嵌入設備密的集產線，貼近機械臂核心動作區架設，捕捉晶元抓取、放置等關鍵動作。

02 適配多場景觀測需求

精靈系列高速攝像機具備出色的環境適應性：高效散熱系統確保控溫環境下穩定運行；IP64級全密封防護及抗振動設計有效抵御低塵與高強度振動；全信號隔離與EMI抑制技術保障在高壓、強磁干擾下可靠工作。

03 大容量非易失存儲

精靈系列高速攝像機采用非易失性存儲介質，斷電數據不丟失，大容量數據無需導出，配套軟件可對內部存儲進行可視化管理。

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深視智能精靈系列高速攝像機以1920x1080高清分辨率，清晰記錄吸盤接觸形變、機械臂振幅及定位偏差等微觀細節，幫助工程師精準定位半導體生產設備工藝薄弱環節，為運動控制邏輯優化、機械結構調校提供可視化數據依據。

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