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      機(jī)器視覺(jué)在半導(dǎo)體中的應(yīng)用--晶圓檢測(cè)
      --機(jī)器視覺(jué)在半導(dǎo)體中的應(yīng)用--晶圓檢測(cè)
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      客戶要求:

             經(jīng)過(guò)光刻的晶圓在檢測(cè)后會(huì)發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標(biāo)志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。

             要求把良品檢測(cè)出來(lái),并把它的坐標(biāo)位置與角度傳送給運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),再由機(jī)械結(jié)構(gòu)作出進(jìn)一步的調(diào)整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動(dòng)。

       

      實(shí)現(xiàn)方式:

             硬件:CCD采用臺(tái)灣敏通高清晰度相機(jī)

                      圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺(jué)的PCI2100圖像采集卡,隨卡帶有圖象定位軟件。

                      鏡頭使用COMPUTAR鏡頭

                      光源是環(huán)形紅光

      軟件:采用創(chuàng)科視覺(jué)公司的ckvision軟件開(kāi)發(fā)包進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)。

      ckvision提供多種高級(jí)功能

                       條形碼讀出

      輪廓識(shí)別

      普通物體識(shí)別

      模式匹配 

      斑點(diǎn)檢測(cè)

      邊緣檢測(cè)

      表面分析 

      快速傅利葉轉(zhuǎn)換

      濾波器

      坐標(biāo)跟蹤

      目標(biāo)定位

      條碼識(shí)別

      各種圖象邏輯運(yùn)算

      OCR光學(xué)字符號(hào)識(shí)別

      圖象形態(tài)分析

       

      實(shí)現(xiàn)過(guò)程

             因?yàn)榭蛻粜枰覀兲峁﹫D像方面的DLL庫(kù),只需要圖象采集、打開(kāi)保存、圖象捕捉、顯示圖象、在圖象上顯示用戶設(shè)置的檢測(cè)框與十字線、提供灰度直方圖、二值化功能、對(duì)象計(jì)數(shù)、對(duì)象中心和角度的輸出、檢測(cè)壞點(diǎn)、檢測(cè)是否完整等功能。

             開(kāi)發(fā)工具采用VC6、為了加快運(yùn)行速度嵌入了Intel匯編指令,為了達(dá)到更好的檢測(cè)效果我們對(duì)ckvision的工具進(jìn)行了部分修改。

      壞點(diǎn)檢測(cè)與是否完整檢測(cè)使用具有學(xué)習(xí)功能的匹配算法,對(duì)象中心與角度的檢測(cè)使用了

      輪廓識(shí)別和邊緣檢測(cè)算法。

       

      應(yīng)用效果:

             目前該圖象庫(kù)已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測(cè)試。功能已經(jīng)得到了完整的改善,已經(jīng)開(kāi)始批量生產(chǎn)。

       

       

       

      深圳市創(chuàng)科自動(dòng)化控制技術(shù)有限公司

      電話:0755-33938285 

      手機(jī):13480974764

      聯(lián)系人:黎先生

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      公司簡(jiǎn)介
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      供應(yīng)信息

      公司名稱: 深圳市創(chuàng)科自動(dòng)化控制技術(shù)有限公司
      聯(lián) 系 人: 黎友
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