超精密加工這個行業(yè)覆蓋面比較廣，包括航空航天上用到精密零部件，包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件，大多數(shù)由于要求在檢測過程中不能劃傷器件表面，因此在檢測方式上需要采用非接觸式的方式。而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。

白光干涉儀實現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

中圖儀器SuperViewW1金屬表面粗糙度檢測儀器是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件，測量速度快，不必作探頭半徑補正，對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測粗糙度可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時，都可以采用自動拼接，而中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測粗糙度，可根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。

自動拼接功能

金屬片磨損分析

金屬光滑凹面輪廓測量