1.   簡介

1.1. 產品簡介

　　激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設備，在制造領域應用廣泛。

　　SJ6000激光干涉儀采用高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。

　　SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。

在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據。

1.  功能特點

1.1. 產品功能特點

      測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。

      具有實現線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。

      可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正的提供依據。

      具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析等。

      內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共10份 。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

      可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動進行環境補償。

      測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

1.2. 分析標準配置

激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗標準：

2.   技術指標

2.1. 技術指標

      系統性能

    測量方式：單頻

    穩頻精度：0.05ppm

    動態采集頻率：50 kHz

    預熱時間：約6分鐘

    工作溫度范圍：(0~40)℃

    環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

    測量距離：(0~40)m

    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

    測量分辨力：1nm

    測量*大速度：4m/s

      角度測量

    軸向量程：(0~15)m

    測量范圍：±10°

    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

    軸向量程：(0~15)m

    測量范圍：±1.5 mm

    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

    基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

    軸向量程：(0.1~4.0)m

    測量范圍：±3mm

    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

    角度測量范圍：(0~360)°

    測量精度：±1″

*高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據。

2.2. 尺寸重量與供電

²  便攜箱尺寸： 560mm×460mm×270mm

²  基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg

²  供電電源：(100~240)VAC