應用領域：生物產業,電子/電氣/通訊/半導體,制藥/化妝品,汽車及零部件,涂料
應用：
DF-500系列 全金屬質量流量控制器適合于半導體工藝、腐蝕性氣體質量、流量高準確度
特性：
1.采用新型電磁閥，提升了響應性，實現了整個區域1秒鐘以內高速響應
2.采用不銹鋼密封材質，可支持高反應性氣體
3.10SCCM~10SLM的產品陣容
4.配備了2個通信端口，支持菊花鏈
5.標準配備了RS-485通信功能
6.支持ROHS、CE規格
| 傳感器方式 |
熱繞組傳感器 |
| 閥門方式 |
比例電磁閥（未通電時關閉） |
| 目標氣體（* 1） |
N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 |
| （未記載的氣體換算成N2進行校正） |
| 流量范圍（* 2） |
10 SCCM~10 SLM |
| 控制范圍 |
2~100％（F.S.） |
| 響應能力 |
總流量控制范圍 1sec內（wihtin±2％F.S.） |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa |
| 精度（* 3） |
±1.0%F.S. |
| 再現性 |
±0.25%F.S. |
| 工作壓差（* 4） |
50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） |
| 最大入口壓力 |
500kPa(G) |
| 耐壓 |
980kPa(G) |
| He泄漏率 |
1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 |
| 溫度 |
使用溫度 |
5～50℃ |
| 精度保證溫度 |
15～35℃ |
| 允許儲存溫度 |
-10～60℃ |
| 允許環境濕度 |
10～90%RH （無結露） |
| 氣體接觸材料 |
SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co |
| 電氣連接 |
D-sub 9針KFC Standard（依據SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2 |
| 流量設定信號 |
0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） |
| 流量輸出信號 |
0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） |
| 數字通信 |
使用RS485旋轉開關設置地址：最多99臺（9600 bps） |
| 所需電源（DC） |
+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA |
| 接頭 |
相當于1/4 VCR |
| 安裝姿勢 |
推薦水平方向 |
| 重量（* 9） |
約1100g |
注：本公司在天津，北京，山東地區均設有安裝施工團隊及售后服務團隊，為您的安全生產和良好體驗保駕護航
