產品簡介

薄膜電容壓力傳感器PPM-T750的測量原理是通過檢測電容變化從而得到真空度變化，能夠精確測量出超低的真空，可以測量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（絕對）壓力，以及0~-100kPa的負壓。輸出信號可選擇0-5VDC或0-10VDC或4-20mA電流信號。接液部分采用抗腐蝕材料，可以測量腐蝕性氣體。過程連接可選擇快卸法蘭，直管插入等幾種方式。準確度高達0.25%FS，是實驗室研究開發、工藝室、半導體過程工具及設備、各類真空包裝真空蒸餾等設備。

產品特點

溫度補償范圍寬

EMI抗電磁干擾

長期穩定性好

外型結構小巧緊湊

工作壽命長

產品應用

半導體處理室、半導體晶片的處理、裝載腔等

石油化工

生物制藥

吸收式制冷機

真空包裝

冷凍干燥設備

真空蒸餾

技術參數

尺寸圖