產品概述：
微型壓力傳感器是專門為流體力學實驗要求非常小的安裝尺寸而設計的，它利用硅–硅鍵合MEMS微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小，固有響應頻率高，彈性力學特性優良，穩定可靠，對流場影響小，精度高于壓電動態壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產品，各國軍標在爆轟動態、空氣動力學測量標準中都推薦首選本類壓力傳感器。可生產探針形、扁平薄餅形（1.5-4mm）。
產品用途：
軍事工程、發動機進氣道、化爆試驗、風洞。
材料、流體力學、聲學、土木工程學、巖土力學。
創傷醫學、石油勘采與試井、液壓動力機械試驗。
縮模實驗等科學試驗與現代化儀器儀表中。
性能參數：
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被測介質 |
對硅、不銹鋼、環氧樹脂膠不腐蝕的氣體和液體 |
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壓力類型 |
絕對壓力、密封參考壓力、通氣表壓力 |
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量程 |
-100KPa～0～10KPa～1MPa～10MPa…100MPa之間任意可選 |
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供電電源 |
0.5-2.0mA、5-12VDC |
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輸出信號 |
約100mV |
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變送器輸出 |
供電：24VDC（±15VDC），輸出：0-5VDC、4-20mA可選 |
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非線性 |
0.1% FS、0.2% FS、0.5% FS |
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重復性 |
0.05%FS |
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綜合精度 |
±0.2%FS、0.5%FS |
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長期穩定性 |
0.2%FS/年 |
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工作溫度 |
-40～125℃（高溫型加裝水冷式結構,耐高溫1200℃） |
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響應頻率 |
50-500KHz |
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輸出阻抗 |
5 kΩ |
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絕緣電阻 |
≥500 MΩ/100V |
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安全過載壓力 |
200%FS （2倍滿量程） |
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破壞壓力 |
500%FS （5倍滿量程） |
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連接方式 |
M3、M4、M5、M6、M10 或指定 |
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接液材料 |
硅、不銹鋼、氟橡膠 |
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相對濕度 |
0～95% RH |
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外殼防護等級 |
IP65 |
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出線方式 |
航插、 直接引線 |
