日本HEPHAIST精工株式會社生產UVW,XYZ,XYR,XYRZ,等工作臺，同時兼容超薄型簡單構造和高剛性在同一平面上配置三個執行器，實現了超薄型簡單構造。此外，“預壓式雙滑動構造(已取得專利) ”對推力(垂直方向負荷)剛性、力矩負荷很強，防止由于偏負荷造成的臺面變形和隆起。 高精度的定位 “預壓式雙滑動”承載負荷，執行器不直接承載負荷。因此可以得到不受負荷變化影響的穩定的精度。 自由設定旋轉中心，可以以任意坐標點為中心使工作臺旋轉。

適用場合：半導體制造設備、檢測設備、LCD、PDP、絲網印刷機、PCB印刷，液晶顯示器設備，激光設備等

NAF3工作臺（標準產品）

超薄結構

結構圖

同時兼容超薄型簡單構造和高剛性在同一平面上配置三個執行器，實現了超薄型簡單構造。此外，“預壓式雙滑動構造(已取得專利) ”對推力(垂直方向負荷)剛性、力矩負荷很強，防止由于偏負荷造成的臺面變形和隆起。 高精度的定位 “預壓式雙滑動”承載負荷，執行器不直接承載負荷。因此可以得到不受負荷變化影響的穩定的精度。 自由設定旋轉中心臺面，可以以任意坐標點為中心使臺面旋轉。

 動作原理

同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。

U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。
テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。		任意の點を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。

製品仕様