日本HEPHAIST精工株式會社生產(chǎn)UVW,XYZ,XYR,XYRZ,等工作臺，同時兼容超薄型簡單構(gòu)造和高剛性在同一平面上配置三個執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)了超薄型簡單構(gòu)造。此外，“預(yù)壓式雙滑動構(gòu)造(已取得專利) ”對推力(垂直方向負(fù)荷)剛性、力矩負(fù)荷很強(qiáng)，防止由于偏負(fù)荷造成的臺面變形和隆起。 高精度的定位 “預(yù)壓式雙滑動”承載負(fù)荷，執(zhí)行器不直接承載負(fù)荷。因此可以得到不受負(fù)荷變化影響的穩(wěn)定的精度。 自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心，可以以任意坐標(biāo)點(diǎn)為中心使工作臺旋轉(zhuǎn)。

適用場合：半導(dǎo)體制造設(shè)備、檢測設(shè)備、LCD、PDP、絲網(wǎng)印刷機(jī)、PCB印刷，液晶顯示器設(shè)備，激光設(shè)備等

NAF3工作臺（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品）

超薄結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)圖

同時兼容超薄型簡單構(gòu)造和高剛性在同一平面上配置三個執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)了超薄型簡單構(gòu)造。此外，“預(yù)壓式雙滑動構(gòu)造(已取得專利) ”對推力(垂直方向負(fù)荷)剛性、力矩負(fù)荷很強(qiáng)，防止由于偏負(fù)荷造成的臺面變形和隆起。 高精度的定位 “預(yù)壓式雙滑動”承載負(fù)荷，執(zhí)行器不直接承載負(fù)荷。因此可以得到不受負(fù)荷變化影響的穩(wěn)定的精度。 自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心臺面，可以以任意坐標(biāo)點(diǎn)為中心使臺面旋轉(zhuǎn)。

 動作原理

同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。

U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。		V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。
テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。		任意の點(diǎn)を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。

製品仕様