一、激光干涉儀基本介紹 

激光干涉儀是激光的應用之一，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。 

二、激光干涉儀工作原理

一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為0.633µm，長期波長穩定性（真空中）優于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。

如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩定的信號。如果兩光程差發生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數乘以激光波長的一半。

應當注意到，激光波長將取決于光束經過的空氣的折射率。由于空氣折射率會隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用于計算測量值的波長值可能需要對這些環境參數的變化進行補償。在實踐中，對于技術指標中的測量精度，只有線性位移（定位精度）測量需要進行此類補償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

波長補償

線性定位測量精度取決于激光波長的已知精度。這不僅與激光的穩頻精度有關，而且還與周圍環境參數有關。尤其是氣溫、氣壓和相對濕度將會影響激光光束的波長（在空氣中）。

如果不對波長的變化進行補償，激光線性測量誤差可能達到50ppm。即使在溫度受控的房間內，日常的空氣

壓力變化也可能使波長變化達20ppm以上。作為參考，以下每項環境條件的變化都將導致大約1ppm的誤差：

空氣溫度      1C(1.8°F)

空氣壓力      3.3mbar(0.098inHg)

相對濕度（20°C時）   50%

相對濕度（40°C時）   30%

注：這些值是在最惡劣條件下的影響值，并且它們并非完全不受其他參數值的影響�？刹捎铆h境補償單元通過埃德倫公式來減小這些誤差。