產品類別：氣體質量流量計/流量控制器
產品型號：SFC4000

產品特點：

規格：
－高精度：設定點的0.8%(10%～100%滿量程)
－超快響應：<100ms
－量程范圍：0-0.05/0.5/2/5/20 ln/min
－數字化標定&溫度補償
－標準接口(0-5V)
－標準供電電壓：24V
－標準的機械接口：G1/4”
－提供NIST-traceable標定證書

應用領域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE）
－生物技術 －氣相色譜分析
－激光焊機 －過程自動化
－真空鍍膜 －燃料電池

安裝尺寸

105*28.5*91.20（mm）

下載資料：
SFC4000 數據手冊