產品類別：氣體質量流量計/流量控制器
產品型號：氣體質量流量計EM1

產品特點： 
技術規格：

－領先的CMOSaens?技術
－高性價比
－輸出數據速度快(快至5ms)
－寬量程比，精度高(1:100精度3%m.v.)
－量程范圍：0-0.05ln/min;0-0.5ln/min;0-20ln/min;0-200ln/min
－操作壓力：8bar
－數字式校驗&溫度補償
－數字式輸出：RS 232/SPI
－標準電源電壓：7-18V
－強固的化學惰性機械聚碳酸脂殼體
－安裝形式多樣
－生產符合ISO9001質量控制系統認證

應用領域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE）－生物技術 －氣相色譜分析－激光焊機 －過程自動化－真空鍍膜 －燃料電池

下載資料：
EM1 數據手冊