一、SJ6000激光干涉儀的基本介紹 

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。 

二、SJ6000激光干涉儀的突出優勢

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③ 可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

 三.SJ6000激光干涉儀技術參數

• 系統性能

• 測量方式：單頻
• 穩頻精度：0.05ppm
• 動態采集頻率：50 kHz
• 預熱時間：5-10分鐘
• 工作溫度范圍：0~40℃
• 環境溫度范圍：0~40℃
• 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

• 環境補償示值誤差

• 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
• 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
• 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
• 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 線性測量

• 測量距離：0-40m
• 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
• 測量分辨率：1nm
• 測量最大速度：4m/sec

• 角度測量

• 軸向量程：0-15m
• 測量范圍：±10°
• 測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.1μm/m

• 直線度測量

• 軸向量程：0.1-4.0 m
• 測量范圍：±2.5 mm
• 測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.01μm

• 垂直度測量

• 測量范圍：±3/M mm/m
• 測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.01μm/m

• 平面測量

• 軸向量程：0-15 m
• 測量范圍：±1.5 mm
• 測量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
• 測量分辨率：0.1μm

• 角度測量

• 角度測量范圍：0-360°
• 精密轉臺角度增量：5°
• 精密轉臺分度精度：±1秒
• 精密轉臺重復性：0.2秒 

四.SJ6000激光干涉儀內置檢驗標準