由于半導體車間經常需要全天候運轉，因此危險氣流分布系統，尤其是將氣流供應給多個過程工具時，必須包含自動監控和控制功能，從而確保可靠性，這些可靠的系統不僅確保半導體的質量，更重要的是，它們還保護人身安全。液空電子（ALE）通過將GE Fanuc提供的一組創新的人機界面（HMI）觸摸屏和可編程邏輯控制器（PLC）與DST Controls（位于加利福尼亞州的貝尼西）的定制控制系統工廠相結合來實現自動監控和控制。

成果： 高可用性，保護工廠生產和人員安全。 易操作的操作員界面。 更強的系統安全性。 高速的以太網通訊。 緊湊型控制，減少空間需求。 更快速、安全的遠程連接。 詳細情況，請下載本手冊