由于半導(dǎo)體車間經(jīng)常需要全天候運(yùn)轉(zhuǎn)，因此危險(xiǎn)氣流分布系統(tǒng)，尤其是將氣流供應(yīng)給多個(gè)過程工具時(shí)，必須包含自動(dòng)監(jiān)控和控制功能，從而確�？煽啃�，這些可靠的系統(tǒng)不僅確保半導(dǎo)體的質(zhì)量，更重要的是，它們還保護(hù)人身安全。液空電子（ALE）通過將GE Fanuc提供的一組創(chuàng)新的人機(jī)界面（HMI）觸摸屏和可編程邏輯控制器（PLC）與DST Controls（位于加利福尼亞州的貝尼西）的定制控制系統(tǒng)工廠相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控和控制。

成果： 高可用性，保護(hù)工廠生產(chǎn)和人員安全。 易操作的操作員界面。 更強(qiáng)的系統(tǒng)安全性。 高速的以太網(wǎng)通訊。 緊湊型控制，減少空間需求。 更快速、安全的遠(yuǎn)程連接。 詳細(xì)情況，請下載本手冊