表面粗糙度儀通過接觸式探針或非接觸式光學感應檢測零件粗糙度，需遵循標準化流程，具體如下：

檢測前，先校準設備，用標準粗糙度塊修正儀器，確保偏差≤±10%，同時檢查探針或鏡頭狀態。零件需清潔表面油污雜質，用夾具固定，避免傾斜，環境溫度控制在 (20±2)℃，濕度 40%-60%，遠離振動源。

檢測時，依據圖紙選參數，如 Ra（通用）、Rz（密封面適用）。按 Ra 值設采樣長度（如 Ra≤0.025μm 時取 0.08mm），評定長度為 5 倍采樣長度。接觸式儀器輕放探針，以 0.5-2mm/s 速度掃描；非接觸式儀器對準焦距后掃描。同一區域重復檢測 3 次，偏差≤15% 取平均值。

檢測后，剔除異常數據，對比公差判合格與否，輸出含設備、零件、參數、結果等信息的報告。

針對曲面零件，用專用探針并調掃描方向；溝槽零件選微型探針；軟質零件調小探針壓力或用非接觸式儀器，保障檢測精準。