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在電子與半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域中滾珠導(dǎo)軌以納米級定位精度和微米級運動控制能力,成為支撐晶圓傳輸、光刻對準(zhǔn)、芯片封裝等核心工藝的“隱形基石”;其低摩擦、高剛性的特性直接定義了設(shè)備生產(chǎn)的極限效率與良率。
光刻機:光刻機是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,其核心需求是實現(xiàn)晶圓載臺與光刻鏡頭的納米級步進(jìn)掃描運動;滾珠導(dǎo)軌在此承擔(dān)關(guān)鍵傳動作用,是決定芯片制程的“核心運動載體”。
刻蝕機/薄膜沉積設(shè)備:刻蝕機用于將光刻圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面,薄膜沉積設(shè)備用于在晶圓表面生長金屬/絕緣薄膜;兩者均需滾珠導(dǎo)軌實現(xiàn)穩(wěn)定的線性傳動,滾珠導(dǎo)軌咳適配“復(fù)雜工藝環(huán)境”。

離子注入機:離子注入機用于向晶圓內(nèi)注入雜質(zhì)離子,其晶圓載臺需同時承載晶圓重量并實現(xiàn)高精度定位;滾珠導(dǎo)軌的高剛性、高負(fù)載穩(wěn)定性在此發(fā)揮關(guān)鍵作用,承載“高負(fù)載+高精度”雙重需求。
芯片鍵合機:鍵合機用于將芯片與引線框架通過金線/銅線焊接,或?qū)崿F(xiàn)芯片對芯片的堆疊封裝,對導(dǎo)軌的 “微進(jìn)給精度” 要求極高,需完成 “微米級” 焊接與組裝。
顯示屏制造設(shè)備:顯示屏,尤其是柔性OLED的制造需避免劃傷、壓傷,且像素精度達(dá)微米級,滾珠導(dǎo)軌需滿足“低摩擦、無粉塵、輕柔運動”需求。
從晶圓廠的無塵車間到PCB產(chǎn)線的高速貼片機,滾珠導(dǎo)軌以毫米級設(shè)計適配狹小空間,用百萬次重復(fù)定位的穩(wěn)定性托舉起電子制造的精密未來,持續(xù)推動行業(yè)向更小、更快、更可靠的方向躍遷。有其他的疑問或者選購需求歡迎聯(lián)系我們科士威傳動傳動咨詢!
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