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一、 核心挑戰與設計目標
這種載具/治具需要在兩種截然不同的工藝中發揮作用：
固晶階段：提供超高精度、穩定的平臺，確保芯片被貼裝。
回流焊階段：在260°C - 300°C的高溫環境下，物理和化學性能保持穩定，不能變形、氧化或釋放污染物，并保證基板在熱過程中不翹曲。
核心挑戰：
抗熱變形：材料的熱膨脹系數（CTE）必須與基板（如陶瓷、金屬基板）匹配，否則加熱冷卻后對位精度全失。
高溫下的強度與硬度：材料在高溫下不能軟化，需保持足夠的強度和剛性。
耐氧化與防粘：表面需抵抗高溫氧化，并防止焊料、助焊劑殘留粘附。
熱管理：加熱和冷卻速率需可控，熱場需均勻。
設計目標：打造一個能在高溫回流焊環境中保持尺寸超穩定、高平整度、長壽命，并能滿足固晶精度要求的一體化載具。
二、 材料選擇：耐高溫性能的基石
材料是決定性的因素，常規鋁合金已無法滿足要求。
材料特性優點缺點適用場景殷鋼/因瓦合金 (Invar)CTE極低 (~1.5 ppm/°C)，高溫下幾乎不變形熱穩定性，是超高精度要求的黃金標準重量極大、成本、加工難度大軍工、航天、高端通信等不計成本的領域碳纖維復合材料(CFRP)CTE可調至近零，重量輕，高比剛度完美平衡性能與重量，熱容量小，升降溫快表面需特殊涂層，成本高高端LED、大型面板、需要快速熱循環的場合特種高溫鋁合金經特殊熱處理，高溫強度保留率更高成本相對較低，易于加工CTE較高，長期高溫性能仍遜色一般功率器件、要求不極端的COB封裝不銹鋼 (如SUS430)耐高溫、耐磨、成本適中強度高，耐用CTE較高 (~10 ppm/°C)，重量大用于載具的輔助結構或定位件，而非主體
結論：對于真正的“耐高溫”和“高精度”要求，殷鋼或碳纖維復合材料是唯二的選擇。
三、 關鍵設計細節
1. 抗熱變形結構設計
低CTE材料：如上所述，殷鋼或CFRP。
對稱設計：結構設計盡量對稱，避免因熱應力不均導致的不均勻變形。
有限元分析（FEA）：必須進行熱力學仿真，模擬載具在高溫下的應力分布和形變情況，從設計端優化結構。
2. 表面處理：防粘、耐氧化與耐磨
特氟龍（Teflon/PTFE）涂層：
優點：的防粘性，焊料和膠水殘留極易清理；耐化學腐蝕。
缺點：耐磨性一般，需定期維護和重涂。
陶瓷涂層：
優點：超高硬度、超耐磨損、耐超高溫、絕緣，壽命極長。
缺點：成本高，脆性大，怕撞擊。
電解拋光（EP）：對于不銹鋼部件，電解拋光可形成光滑、鈍化的表面，減少粘附和提高耐腐蝕性。
3. 真空吸附系統
多通道獨立設計：將真空區域分區，防止因局部泄漏（如基板有 crack）導致整個載具真空失效。
耐高溫密封：真空管路和接頭需使用耐高溫的硅膠或氟橡膠密封圈，普通橡膠會在高溫下熔化失效。
微孔陣列：吸附孔分布均勻，確�；迨芰鶆颍诟邷叵氯阅苡行б种坡N曲。
4. 定位系統
材質：定位銷、擋塊等關鍵定位件需使用硬質合金或陶瓷材料，保證其在高溫下的耐磨性和尺寸穩定性。
間隙補償：設計時需計算載具與基板在不同溫度下的熱膨脹差值，并預留合理的配合間隙，防止熱脹冷縮后卡死或過松。
5. 熱管理（可選）
雖然回流焊依賴外部爐膛加熱，但高端載具可集成加熱器和溫度傳感器，用于預熱或進行共晶焊（Eutectic Bonding），實現更靈活的工藝控制。
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