1. 光通信模塊固晶治具應(yīng)用:用于制造光收發(fā)模塊(如TO-CAN、BOX、COC等),封裝激光器(LD)、探測(cè)器(PD)、調(diào)制器(EML)等核心芯片。
核心要求:
超高精度:光通信對(duì)芯片的位置和角度(六自由度)要求極其苛刻,常需亞微米級(jí)(±1μm)定位精度,以確保光路對(duì)準(zhǔn)。
材料穩(wěn)定性:殷鋼(Invar)或碳化硅(SiC)陶瓷,確保在固晶加熱過(guò)程中幾乎不變形。
復(fù)雜結(jié)構(gòu):治具常帶有精密臺(tái)階、斜面和定位孔,以適應(yīng)復(fù)雜的管殼/底座結(jié)構(gòu)。
潔凈度:工作環(huán)境要求高,治具需易于清潔,防塵防靜電。
2. 傳感器固晶載具應(yīng)用:用于MEMS傳感器(如加速度計(jì)、陀螺儀)、紅外傳感器、壓力傳感器等芯片的封裝。
核心要求:
多品種、小批量:傳感器種類繁多,治具多為定制化,要求廠家響應(yīng)快、柔性生產(chǎn)能力高。
特殊處理:傳感器芯片可能對(duì)靜電敏感(ESD),治具需要做防靜電涂層處理。
應(yīng)對(duì)敏感結(jié)構(gòu):MEMS芯片可能有懸空結(jié)構(gòu),治具設(shè)計(jì)需避免壓傷芯片,有時(shí)需要非接觸式的真空吸附固定。
材料多樣:根據(jù)精度要求,可采用鋁合金(陽(yáng)極氧化)、不銹鋼或殷鋼。
3. 陶瓷基板固晶治具應(yīng)用:用于承載氧化鋁(Al₂O₃)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si₃N₄)等陶瓷基板,常見(jiàn)于大功率LED、激光器、功率模塊(IPM)、汽車電子等領(lǐng)域。
核心要求:
高硬度、高耐磨:陶瓷基板本身非常堅(jiān)硬,且邊緣鋒利,治具材料必須耐磨(如采用模具鋼、高強(qiáng)度不銹鋼),否則使用壽命短。
耐高溫:陶瓷基板常采用共晶焊(高溫?zé)Y(jié))工藝,治具需在300℃以上高溫中保持穩(wěn)定,殷鋼是常見(jiàn)的選擇。
定位:基板通常小而脆,治具的腔體尺寸和定位銷精度要求高,防止基板移動(dòng)或破裂。
真空吸附:廣泛采用真空吸附來(lái)固定平整的陶瓷基板。
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