年初，多家行業(yè)協(xié)會和市場分析機構(gòu)紛紛預(yù)測，2024年全球半導(dǎo)體市場將迎來周期性回暖。尤其在AI、存儲等產(chǎn)業(yè)帶動下，半導(dǎo)體市場需求持續(xù)旺盛，頭部廠商加速布局。

　　受行業(yè)特性影響，半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜、廠房環(huán)境要求苛刻，都驅(qū)動著產(chǎn)業(yè)鏈上下游向著更高水平的自動化、智能化前進。

　　面對這一壁壘極高的行業(yè)要求，三菱電機憑借豐富的產(chǎn)品陣容與強大的本土開發(fā)能力，圍繞安全高效的通信以及空間利用率、生產(chǎn)效率與良品率提升等核心問題，以先進FA技術(shù)為基礎(chǔ)不斷升級整體解決方案，為半導(dǎo)體制造設(shè)備及生產(chǎn)工廠提供技術(shù)支持。

　　SECS/GEM通訊解決方案

　　作為半導(dǎo)體制造設(shè)備和主機系統(tǒng)之間的通信橋梁，SECS/GEM通訊解決方案在智能制造方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

　　傳統(tǒng)的解決方案，通過網(wǎng)關(guān)計算機+第三方軟件實現(xiàn)，對外依賴度高，維護不便。而在三菱電機的解決方案中，通過導(dǎo)入專用的SECS/GEM硬件模塊，可以減少中間環(huán)節(jié)，提高用戶開發(fā)及維護的自主性。針對部分要求不高的通訊場景，三菱電機推出軟件解決方案即FB功能塊，也可實現(xiàn)SECS/GEM通訊。

　　AMHS解決方案

　　AMHS，即自動物料搬運系統(tǒng)。半導(dǎo)體制造工廠中的AMHS解決方案，主要分為三種：空中走行式無人搬送車（OHT天車）、潔凈存儲系統(tǒng)（STK）和移動機器人（AGV）地面方案。

　　以12寸晶圓的晶圓廠為例，OHT天車的軌道總長度數(shù)百公里，臺數(shù)上千臺。在最新的OHT天車解決方案中，三菱電機提供了iQ-F系列可編程控制器+多軸一體式J5伺服系統(tǒng)的方案，在有效節(jié)約設(shè)備空間的同時，實現(xiàn)了高速高精度的控制。

　　在立庫中，通過采用RD78G運動控制器+J5伺服系統(tǒng)，并配置CC-Link IE TSN開放式整合網(wǎng)絡(luò)，設(shè)備性能達到行業(yè)主流水平。

　　單片清洗設(shè)備解決方案

　　一片硅片，從投料到出貨，需要經(jīng)過約200道清洗工序。可以說，半導(dǎo)體清洗是前道制造環(huán)節(jié)中非常重要的環(huán)節(jié)，幾乎貫穿整個作業(yè)流程，清洗的好壞也直接決定了產(chǎn)品的品質(zhì)。

　　設(shè)備開發(fā)初期，常規(guī)采用伺服系統(tǒng)+皮帶+滑輪的控制方式，但在防塵、腔室面積利用率、設(shè)備維保等方面問題較為突出。

　　為此，三菱電機針對客戶需求，定制開發(fā)中空軸電機，大幅縮減連接機構(gòu)的同時，設(shè)備尺寸與結(jié)構(gòu)得到改善，腔室數(shù)量同步增加，進一步節(jié)省了設(shè)備空間，并助力客戶提升了產(chǎn)能。

　　分選檢測設(shè)備解決方案

　　分選檢測是芯片生產(chǎn)的最后一道工序，核心要求是節(jié)拍快、檢測準、壓力控制穩(wěn)。

　　基于這一要求，三菱電機依托豐富產(chǎn)品線，以iQ-R系列可編程控制器+JET伺服系統(tǒng)為基礎(chǔ)為客戶量身打造成套解決方案，滿足了客戶在設(shè)備效率、疊片檢測、芯片厚度、壓力控制等各方面的技術(shù)要求。

　　此外，考慮到芯片封測工藝的特殊性，中國共創(chuàng)中心定制開發(fā)碰撞檢知、恒力保壓等相關(guān)功能，保證芯片的穩(wěn)定摘取與測試，并避免意外損壞，提高生產(chǎn)效率。

　　從SECS/GEM通訊、自動搬運，到單片清洗、分選檢測……三菱電機堅持立足現(xiàn)場、持續(xù)創(chuàng)新，在各道工序的設(shè)備中運用領(lǐng)先的FA技術(shù)，幫助客戶解決半導(dǎo)體制造中存在的痛點難點課題，助力客戶加快發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力。

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　　關(guān)于三菱電機自動化（中國）有限公司

　　作為全球自動化領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)廠商，三菱電機以其優(yōu)秀的自動化產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)于全球各行業(yè)用戶。在中國，三菱電機的PLC、變頻器、伺服、CNC、低壓電器、工業(yè)機器人、加工機等產(chǎn)品運行在各行各業(yè)，e-F@ctory智能制造解決方案構(gòu)建出智能化工廠的框架并落地實施，為中國經(jīng)濟發(fā)展積極做出貢獻。

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