概述

無塵室是半導體生產的關鍵設施。不對生產過程進行嚴格的控制將產生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測室內的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數。為半導體制造商工作的現場工程師希望能夠連續(xù)簡單地使用無塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應該能夠收集數據進行分析，確保制造過程在可接受的參數下進行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應該確保加工過程符合半導體工業(yè)標準 - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 系列數據采集模塊構成一個全面的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的核心。它們提供了一個經濟的、易于實施的解決方案。 

系統(tǒng)要求

半導體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統(tǒng)增加到現有的加工過程和設備中，而不干擾或修改已經建設好的控制系統(tǒng)。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監(jiān)管系統(tǒng)。 

阿爾泰解決方案

我們開發(fā)了一個基于 RS-485多點網絡的解決方案。為保護無塵室，系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風扇。DAM-3027 數字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項重要任務。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

風淋室是為工作人員進出潔凈區(qū)所設置的專用通道，可以有效的降低外部人員進入潔凈區(qū)所帶來的污染問題，并同時起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風淋室通用性強，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3062模塊來控制風淋室和貨料進入的門禁系統(tǒng)，防止外來人員的入內，增加無塵室的塵埃，影響生產。DAM-3018來控制鼓風機的運轉，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。

結論

集成系統(tǒng)能夠提供連續(xù)不斷的監(jiān)視。能夠對數據進行獨立的監(jiān)控。還可以大大減少設備管理人員，降低運作成本，方便客戶的使用，減少不必要的損失。