|
項目簡介
----某集成電路制造（上海）有限公司是中國最大的半導體生產廠家之一。生產200mm (8 inch)的芯片，可達到密集程度0.25 μm 以下的工藝技能以滿足中國市場的巨大需求。
----作為專業的全集成自動化解決方案的提供者，我們憑著強大的技術實力與豐富的工程經驗在激烈的競爭中贏得了此公司潔凈室自控系統工程的合約，提供了從設備到工程的一系列服務，包括提供基于分散過程控制系統的PCS7系統，控制方案的選擇和控制功能的設計，系統編程，組態，安裝，開車調試，工藝參數優化，以及相關操作維護手冊編寫，培訓。系統總I/O點數超過2000點。項目于2001.3啟動，2001.12竣工。
系統結構
----PCS7作為一個富有競爭力的過程控制系統，被用于此公司的凈化室項目中，兩個獨立的加工廠 (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7系統。考慮到芯片加工廠連續生產的特性，我們采用了AS控制器冗余技術。分布式I/O模塊的應用，滿足了安裝及接線靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線驅動，可帶電插拔。為了確保其的可靠性，同時也配備了Profibus的冗余通訊。UPS的應用解決了斷電問題。
控制策略
----芯片與生產設備本身對空氣的溫濕度非常敏感。為了維持潔凈室穩定的環境，控制系統必須能自動識別變化。通過新風機低中效的過濾以及風扇過濾單元高效過濾，可以實現對凈室潔凈度的控制。利用變速風機可以進行壓力控制，潔凈室中穩定的正壓是新風機和排氣系統共同作用的結果。
----為了更精確地控制濕度，我們采用了串級控制，從而克服了滯后現象。主環控制凈室的相對濕度，而副環主要控制送風系統的一些擾動，包括公用部分的一些不穩定因素。在某一溫度下，為了保持空氣中一定的濕度，必須注意補給以保持空氣的絕對濕度。
項目突出點
----為盡快建立芯片生產線，所有的工作都幾乎在同時進行，那就意味著需要一支有經驗的專業化工程隊伍。同時，由于半導體制造設備的巨大投資，以及生產線工人24小時不間斷的生產作業，這些都要求控制系統必須有高度的可靠性。
系統優勢
----考慮到半導體工業的特性與產品周期，西門子工業自動化有限公司為其配置了西門子具有高度靈活性，可靠性與一體化的PCS7過程控制系統，實現集成數據管理，集成編程，組態，集成通訊。
----采用的AS 414H/417H 是冗余的自動化系統，由兩個獨立的中央處理單元組成，同步跟蹤被控對象，并通過CPU之間的數據線進行快速，直接的內部數據交換。這兩個獨立的中央處理單元可以以冗余的方式接入工業以太網，并有冗余的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發生，故障搜索裝置啟動，受影響的單元停止，自動切入后備單元。
|
