智能潔凈室技術(shù)為IC制造保駕護航

　　——訪中電四公司市場管理中心總經(jīng)理張琪

　　隨著市場環(huán)境的優(yōu)化升級和國家政策的有利驅(qū)動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等下游行業(yè)對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產(chǎn)業(yè)，集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境和工藝的要求極為苛刻。其中，潔凈室的建設(shè)是集成電路制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對最終產(chǎn)品的性能具有至關(guān)重要的影響。

　　作為我國最早專業(yè)從事潔凈室機電設(shè)備安裝的工程公司之一，中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路制造企業(yè)提供設(shè)計、采購、項目管理、施工、設(shè)施管理、潔凈室配套產(chǎn)品制造等一體化“交鑰匙”工程服務(wù)。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建設(shè)集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環(huán)境監(jiān)測的高精度和高穩(wěn)定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業(yè)用溫濕度變送器HMT330、本質(zhì)安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產(chǎn)品，成功應(yīng)用于北京集電廠房潔凈室。自應(yīng)用以來，相關(guān)儀表和變送器運行穩(wěn)定，測量準確。

　　纖毫必顯 打造高標準的潔凈車間

　　穿戴嚴密封閉的特制防護服和鞋套，經(jīng)過嚴格的車間消殺流程，再通過數(shù)道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業(yè)品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環(huán)境溫度和濕度等，都將對制造過程產(chǎn)生重大影響。

　　“集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數(shù)進行極為精確、穩(wěn)定的測量，從而確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定可靠。”中電四公司市場管理中心總經(jīng)理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標階段，我們知道維薩拉的相關(guān)產(chǎn)品可完全滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產(chǎn)品作為測量儀表進行投標，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作。”

　　隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設(shè)提出了越來越高的要求。據(jù)介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應(yīng)的潔凈室環(huán)境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產(chǎn)品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應(yīng)用環(huán)境，維薩拉的多款產(chǎn)品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環(huán)境中和苛刻需求下實現(xiàn)精準測量，還可針對不同的應(yīng)用環(huán)境實現(xiàn)定制，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環(huán)境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現(xiàn)場更換，輕松實現(xiàn)測量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本質(zhì)安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發(fā)生故障的情況下，這款產(chǎn)品也不會造成事故或設(shè)備損壞。截至目前，該產(chǎn)品已獲得多項本質(zhì)安全認證。除測量相對濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數(shù)，如露點溫度、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質(zhì)量分數(shù)、水汽壓和焓值。

　　“維薩拉產(chǎn)品的測量精度不僅完全滿足了潔凈室的設(shè)計標準，更大幅壓縮了標準誤差的范圍：將其降低至標桿誤差的三分之一，達到了濕度±1%、溫度±0.1°C，充分保障了潔凈室的可靠運行。”張琪補充道，“出于項目整體精度和穩(wěn)定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。”

　　MAU系統(tǒng)中的 HMT330

　　擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應(yīng)

　　對于高精尖的工程建設(shè)而言，時效的重要性不言而喻。項目所需的各項產(chǎn)品和材料往往有著嚴格的供貨周期，某項關(guān)鍵材料的缺失，將直接影響項目的進度。而全球疫情的起伏不定，給產(chǎn)品的供貨時效增添了一抹不確定性。

　　“國際物流需提前預(yù)定，疊加疫情影響，一些稀缺的材料和產(chǎn)品需要提前半年甚至更久預(yù)定。”張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質(zhì)量的測量產(chǎn)品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產(chǎn)品能否及時到貨。”

　　事急從權(quán)。在產(chǎn)品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商積極配合，在與中電四公司達成初步購買意向、尚未簽署正式購買合同時，提前鎖定了項目所需的產(chǎn)品，并充分協(xié)調(diào)內(nèi)外部資源，將產(chǎn)品如期送抵客戶手中。

　　具有“本質(zhì)安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX

　　“北京集電的項目如期竣工，各項指標均達到了預(yù)期水平。截至目前，相關(guān)項目設(shè)備運行穩(wěn)定，客戶未反饋任何售后需求。而沒有售后需求，也是對我們產(chǎn)品質(zhì)量的高度認可。”談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為了我們的項目，維薩拉的對接同事克服了很多困難，給予了最大的支持。這增進了我們雙方的信任，讓我們很感動，也為后續(xù)的合作奠定了良好的基礎(chǔ)。”

　　每年，像潔凈室建設(shè)之類的專業(yè)承包約占中電四公司總工程量的50%。特別是在超大面積潔凈室、超凈潔凈室、超高空間潔凈室、超精度潔凈室的建設(shè)方面，中電四公司有著豐富的工程經(jīng)驗和相關(guān)工程技術(shù)。

　　與此同時，維薩拉也憑借著穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品性能、過硬的產(chǎn)品和快速響應(yīng)的服務(wù)，贏得了中電四公司的青睞與信任。相信在不遠的未來，維薩拉將與中電四公司開展更為深入的戰(zhàn)略合作，助力雙方的品牌出現(xiàn)在更多高精尖產(chǎn)品的打造和應(yīng)用場景之中。

　　溫濕度變送器 HMT120