|
公司推出的BXC系列顯微鏡組件,專(zhuān)為工業(yè)自動(dòng)化檢測(cè)與成像系統(tǒng)打造,集高穩(wěn)定性、模塊化架構(gòu)與緊湊外形于一體,便于快速嵌入各類(lèi)精密設(shè)備。該平臺(tái)以抑制性能波動(dòng)、保障成像一致性為核心優(yōu)勢(shì),廣泛適用于晶圓對(duì)準(zhǔn)、表面缺陷識(shí)別及高精度尺寸測(cè)量等嚴(yán)苛工業(yè)場(chǎng)景。

其中,MXPLFLN系列物鏡在高數(shù)值孔徑與長(zhǎng)工作距離之間實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異平衡。以20倍和50倍放大為例,其3 mm工作距離顯著降低物鏡與樣品發(fā)生接觸的風(fēng)險(xiǎn),提升作業(yè)安全性與檢測(cè)效率。同時(shí),該系列采用波前像差控制技術(shù),確保光學(xué)輸出高度一致,有效減少系統(tǒng)集成與調(diào)試周期。針對(duì)低倍率大視場(chǎng)拼接成像需求,MPLFLN 2.5X/5X明場(chǎng)/暗場(chǎng)物鏡優(yōu)化了圖像平場(chǎng)性能,并支持從可見(jiàn)光至近紅外波段的寬光譜透過(guò),簡(jiǎn)化多波段成像系統(tǒng)的光學(xué)設(shè)計(jì)。
BXC平臺(tái)提供高度靈活的配置選項(xiàng),包括五孔及六孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器(如U-D5BDREMC-VA),后者具備1級(jí)無(wú)塵室兼容性,并集成真空除塵機(jī)制,滿(mǎn)足高潔凈度環(huán)境要求。配合MIX滑塊技術(shù)(U-MIXR-2),系統(tǒng)可在不增加復(fù)雜光路的前提下實(shí)現(xiàn)定向暗場(chǎng)照明——通過(guò)16個(gè)獨(dú)立可控LED精準(zhǔn)調(diào)節(jié)照明角度,有效增強(qiáng)表面微結(jié)構(gòu)對(duì)比度,并可無(wú)縫切換至明場(chǎng)、偏光或熒光模式,實(shí)現(xiàn)多模態(tài)融合檢測(cè)。
在自動(dòng)對(duì)焦方面,BXC-FSU傳感模塊采用多點(diǎn)激光監(jiān)測(cè)機(jī)制,即使面對(duì)低對(duì)比度樣本(如裸硅片),也能輸出穩(wěn)定聚焦信號(hào),且不受放大倍率或環(huán)境光照變化影響。配套的緊湊型控制箱(BXC-CBRML/BXC-CBB)采用無(wú)風(fēng)扇設(shè)計(jì),支持壁掛或吸頂安裝,可集中管理照明、物鏡切換及MIX功能,并開(kāi)放標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,便于用戶(hù)自主集成至現(xiàn)有控制系統(tǒng)。
憑借標(biāo)準(zhǔn)化、高性能的光學(xué)與機(jī)械模塊,BXC系列為工業(yè)視覺(jué)前端提供了可靠、可擴(kuò)展的一體化解決方案。
奧林巴斯光學(xué)顯微鏡:https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/opt/
產(chǎn)品鏈接:https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscope/bxc-series/
|