高溫高真空的法蘭變送器采用的是高溫硅油填充液，且其填充工藝相較一般的法蘭壓力變送器更加嚴(yán)格。

這些改變對(duì)高溫真空環(huán)境下壓力變送器的可靠性和使用壽命提供了可靠的保障：

1.膜盒并不是一體成型的結(jié)構(gòu)，其上有焊接的部分在具備一定條件的情況下是會(huì)透出氣體的，當(dāng)法蘭變送器在負(fù)壓中工作時(shí)，隔離膜片受到外部吸力影響而膜片外鼓，這會(huì)導(dǎo)致膜片內(nèi)部充液壓力降低。此時(shí)，外部氣體便極有可能從焊縫和接頭位置滲入膜盒內(nèi)部，使填充液中含有氣體，從而影響儀器的性能。

2.填充液的沸點(diǎn)溫度是會(huì)隨壓力的降低而降低的。如果法蘭式變送器在負(fù)壓狀態(tài)下工作，則可能導(dǎo)致充液沸點(diǎn)降低。此時(shí)如果介質(zhì)的溫度高于填充液體的沸點(diǎn)，填充液的汽化壓力就會(huì)急劇增加。這些氣體不僅會(huì)作用在變送器的傳感器元件上，造成測(cè)量誤差，還會(huì)引起隔離膜片的外鼓，造成其永久變形。

為此，制造商需要對(duì)變送器在高溫高真空環(huán)境下工作的情況進(jìn)行特殊處理。

常見(jiàn)的做法是將膜盒內(nèi)填充液替換為高溫硅油。其填充量應(yīng)得到準(zhǔn)確控制，不能過(guò)多或過(guò)少，在加注硅油之前，還必須完全排空硅油中的氣體，盡量確保內(nèi)外壓力平衡。必須提前將膜盒抽至絕對(duì)真空，不留殘余壓力，膜盒的焊接必須絕對(duì)牢固。這些都增加了變送器的加工工作量和成本，因此高溫高真空法蘭變送器的價(jià)格也相較一般同類產(chǎn)品更加昂貴。