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分子真空泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為：
1、牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
2、渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3、復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。
復合分子真空泵的結構特點：
復合式分子真空泵是渦輪分子真空泵與牽引分子真空泵的串聯組合，集兩種泵的優點于一體。分子真空泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產的一種采用氣體靜壓軸承和動密封的復合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級真空泵直接向大氣中排氣。
在復合分子真空泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以提高泵的抽氣性能。
隨著復合分子真空泵的不斷改進，其應用領域越來越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環境。
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