薄膜真空計是迄今為止唯一得到公認的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，
其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計居多，是一種間接測量的真空計，是一種熱傳導型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數量級（誤差大于30%），尤其是在低真空段（0.01---100Pa），誤差大到測量可信度極低。但是由于它制造容易、價格低廉，在許多的要求較低真空設備上還普遍使用著。許多人抱怨花了3、4千元買到進口的真空傳感器也誤差很大，就是因為老外的這個價位的產品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。

現在真空應用技術的發展，真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，因為這直接關系到真空設備的整體性能質量，關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果，甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業中尤其特出。
許多新設備、新工藝、新產品的開發無法得到預想的技術指標，很可能就是真空測控儀表選型不當、測量控制精度無法達到要求所致。


現在，國內學習和引進國外先進技術，根據我們真空設備配套測控儀表的特點，研制出的陶瓷薄膜真空計，其測量精度和穩定性已經完全可以與進口產品相媲美了。
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