JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備。可以實(shí)現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測(cè)試，射頻測(cè)試，光電測(cè)試等。通過液氮或者壓縮機(jī)制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營(yíng)造一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。
極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程 泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
技術(shù)特點(diǎn)
-防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測(cè)試效率；
•液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度。
詳細(xì)參數(shù)
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產(chǎn)品類型
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低溫開循環(huán)
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低溫閉循環(huán)
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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型號(hào)
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JKZC-JKZC-DCHH-196k
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JKZC-JKZC-DCHH4k
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外形
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850*850*600mm
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900*850*600mm
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重・
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約100kg
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約150kg
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電力需求
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AC220V,50〜60HZ
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AC380V,50~60HZ
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腔體
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腔體尺寸
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8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗
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樣品臺(tái)尺寸
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2英寸/4英寸（鍍金）
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2英寸（鍍金）
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樣品固定方式
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真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片
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真空度
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10A-5pa最高真空
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接口形式
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電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等
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其它
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帶防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)
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溫控系統(tǒng)
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制冷方式
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液氮
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壓縮機(jī)
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溫控范圍
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77K-473K （973k可選）
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4.2K~450K
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溫控精度和穩(wěn)定性
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土 0丄度/±0丄度
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降溫速度
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常溫降到77k優(yōu)于25mins
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常溫降到：10k優(yōu)于180mins
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控制方式
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液氮自動(dòng)流量控制
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壓縮機(jī)控制
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光學(xué)系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X 〜2000X
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16X-200X/40X-280X
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移動(dòng)范圍
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水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦，帶萬向支架
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真空腔觀察窗尺寸
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4inch
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4inch
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CCD像素
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2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能
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探針臂
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探針臂數(shù)・
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最多6個(gè)
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X¥Z行程
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50mm-25mm-25mm
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點(diǎn)針精度
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10微米/2微米
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漏電精度
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同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA
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接口形式
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三軸/SMA/K/光纖接口
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頻率范圍
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JKZC-DCH-67G
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探針
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探針直接
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lum~100um 可選
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材質(zhì)
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磚鋼，披銅
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真空系統(tǒng)
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機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
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可選附件
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防震桌，鍍金卡盤，氣敏測(cè)試組件等
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應(yīng)用方向
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高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等
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