產品型號

 技術參數

JKZC-UC6

JKZC-UC8 JKZC-UC12

探針臺本體

主體材料

航空鋁

航空鋁

航空鋁

整機尺寸（mm）

780L*580W*680H

830L*610W*680H

950L*730W*680H

重量

85kg

125kg

175kg

卡盤大小

6" ,360度轉動，可微調

8",360度轉動，可微調

12", 360度轉動，可微調

卡盤XY軸行程

6"*6"，精度 10um

8"恪"，精度10um

12"*12"，精度 10um

卡盤氣浮移動范圍

360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率

卡盤材質

不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻

卡盤拉出功能

卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于更換樣品

卡盤吸附方式

真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）

背電極測試功能

卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能

腔體

帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜

其他功能

帶標準接地保護，可升級

溫控

溫度范圍

-100~200°C - 80~200°C

-60~2000°C

溫控精度

溫度分辨率：0.01°C

加熱電源

LVJKZC-DCH低壓直流

最低控溫速率

±0.1℃

制冷方式

液氮制冷（自動控溫）

針座平臺

材質

0型平臺，Q235鍍鎳，帶接地端子

大小

最多可放置8個探針座 最多可放置10個探針座

最多可放置14個探針座

兩段式升降平臺

探針平臺可以快速升降，行程3mm；可以上下微調，行程40mm,升降精度lum

顯TH系統

顯微鏡類型

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統

倍率范圍

16X-200X/40X-280X/20X-4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum

CCD成像系統

2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能

探針座

種類

絲桿型/微分頭型/經濟型探針座

X¥Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機械精度

0.5um/0.7um/2um

夾具

漏電精度

同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA

接口形式

同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動

電力需求

220V/50HZ