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產(chǎn)品型號(hào)
技術(shù)參數(shù)
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JKZC-DN4
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JKZC-DN6
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JKZC-DN8
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JKZC-DN12
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探針臺(tái)臺(tái)體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機(jī)尺寸（mm）
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580L*480W*620H
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630L*530W*620H
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700L*580W*620H
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800L*650W*620H
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重量
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50kg
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60kg
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80kg
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120kg
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自適應(yīng)減震系統(tǒng)
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自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾
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卡盤大小
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4",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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6",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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12",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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卡盤XY5S行程
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4"*4"，精度 10um
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6"*6"，精度 lOurm
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8"* 8"，精度
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12"*12，精度 10um
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卡盤Z軸行程
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快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米
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卡盤材質(zhì)
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不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
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卡盤吸附方式
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真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
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背電極測試功能
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卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
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其它功能
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帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級，ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)（選件）
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針座平臺(tái)
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材質(zhì)
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U型平臺(tái)，Q235鍍第帶接地端子
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大小
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最多可放置4〜6個(gè)探針座 最多可放置8~10個(gè)探針座
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■mkZB系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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顯微鏡行程
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具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系統(tǒng)
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2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
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X-Y-Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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機(jī)械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度 接口形式
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同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率
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電力需求
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220V/50HZ
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