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產品名稱：
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FS5001微小流量計，空氣流量計
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型 號：
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FS5001
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價 格：
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品 牌：
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產品簡介： FS5000系列專為普通氣體的監控而設計。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設計，該傳感器可直接測量流體質量。可偵測最低流速為20 nL／min的流體。傳感器可應用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮氣監控，環境設備如空氣采樣機、分析儀器如GC分光儀。FS5001可設定為可測滿量程為1-1000 sc c m（1 SLPM），并可根據客戶需求進行定制。該產品可即插即用，具有多種用途。
產品特點：
－專為流量跟蹤測量而設計，測流量最低可達20nL／min
－卡口式設計可應用于多氣道
－快速響應時間有利于精密測量的應用
－在分析設備表現卓越，如：GC分光儀
－多樣化的可調節方式可輕松應用于不同環境
－內置安全插件可適用于更多的應用中
FS5001微小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
產品特點：
- 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據(RS232)或由上位機查詢輸出數據(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩定度高
- 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸：
技術參數：
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FS5001
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量程范圍
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0～20,50,200,500,1000,或根據客戶需求定制
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sccm
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量程比
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>100：1
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精度
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±(1.5±0.2FS)
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%
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重復性
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±0.75
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%
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零點輸出飄逸
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±30
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mV
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輸出飄逸
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0.16
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%/oc
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響應時間
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100(默認，50，100，200，500，100設置)
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ms
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
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最大流量壓損
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900
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Pa
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最大流量壓力
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0.8
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MPa
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工作溫度
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-5~+45
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oC
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存儲溫度
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-20~+55
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oC
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工作濕度
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<95%RH(無結冰、無凝露)
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機械接口
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M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉接模塊)
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校準方式
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空氣(或其他氣體)，20oC,101.325kPa
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重量
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17.5
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g
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