在電動汽車、人工智能和通信技術飛速發(fā)展的今天，半導體芯片已成為高科技產(chǎn)業(yè)的核心驅動力，而半導體設備作為芯片制造的基石，正成為全球科技競爭的戰(zhàn)略制高點。作為信息技術產(chǎn)業(yè)的基礎支柱，半導體設備不僅決定著芯片制造的工藝水平，更直接關系到國家科技競爭力與產(chǎn)業(yè)鏈安全。在這一背景下，倍福基于 PC 的控制技術為半導體設備行業(yè)中的整個產(chǎn)業(yè)鏈提供了完整的控制解決方案，這一方案全面涵蓋了從前端晶圓加工到后道工藝芯片封裝的各個環(huán)節(jié)，助力中國半導體設備行業(yè)實現(xiàn)新一輪的產(chǎn)業(yè)變革。

半導體行業(yè)困局

•如何在摩爾定律持續(xù)演進的情況下，對設備精度和性能提出更高要求？

•如何滿足半導體設備技術突破路徑呈現(xiàn)出多元化和差異化特征？

•如何助力半導體設備企業(yè)從單機臺突破創(chuàng)新到平臺式創(chuàng)新的轉變？

倍福為您破局

01  EtherCAT

快速、開放、享譽全球

EtherCAT 是倍福的超高速工業(yè)以太網(wǎng)技術。自 2003 年以來，它在速度和同步精度方面樹立了新的標準，如今已被認為半導體行業(yè)的全球標準。

✓ 超高速、可靠的通信標準

✓ 保持技術的永久兼容性

✓ 專為極端嚴苛應用環(huán)境量身打造的創(chuàng)新解決方案

02  XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)

高度靈活的晶圓輸送

有了 XPlanar，您的生產(chǎn)部件可以在一個工具內(nèi)以及在幾臺設備間以自由懸浮的方式輸送：它具有高動態(tài)性，且無抖動，同時提供最高精度和前所未有的移動靈活性。

✓ 自由懸浮的動子，能夠以最大 2 m/s 的速度無抖動地輸送零件

✓ 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面

✓ 實現(xiàn)靈活的零件輸送，擺脫固定工位序列的束縛

03  EtherCAT 插拔式模塊及測量模塊

降低成本

倍福產(chǎn)品系列全方位滿足半導體行業(yè)的所有型號采集需求：從每秒測量一次到每秒測量數(shù)千次，從電壓和電流測量到溫度和壓力測量。而倍福的 I/O 專業(yè)技術可以更高效地幫助您打造出適用于批量生產(chǎn)的自動化系統(tǒng)。

✓  EJ 系列 EtherCAT 模塊 | 插拔式設計便捷高效，緊湊、取代了復雜、專用的 I/O 信號板，并且消除了錯誤接線的風險

✓  ELM 系列 | 高端測量模塊被集成到 EtherCAT I/O 系統(tǒng)中，在記錄過程關鍵測量通道數(shù)據(jù)時也表現(xiàn)出極高的可靠性。

✓  TwinCAT Scope | 能夠以圖形化方式精確顯示個位數(shù)微秒范圍內(nèi)的測量信號

04  TwinSAFE 全集成安全解決方案

為 EtherCAT 系統(tǒng)量身定制的安全解決方案

倍福的 TwinSAFE 為半導體設備行業(yè)量身定制的安全解決方案，打破了控制技術領域長期存在的“安全功能”和“非安全功能”分離局面，在實施過程中表現(xiàn)出高度靈活性和可擴展性。有了 TwinSAFE，就能夠根據(jù)不同的應用需求與實施方式，將各種所需的安全功能靈活地集成到任何控制架構之中。最后可以根據(jù)您的具體需求量身定制完整的安全解決方案。

✓ 為實施定制化安全應用提供全面的軟件支持

✓ Safety over EtherCAT  助力實現(xiàn)開放性和靈活性

✓ 適用于所有應用領域的 TwinSAFE 邏輯的組件

05  針對半導體行業(yè)的中央控制解決方案

實現(xiàn)高度模塊化設計以及多功能性

基于 PC 的控制技術使用可滿足各種性能等級需求的工業(yè) PC 完成所有控制任務。包括過程控制、HMI 集成、運動控制以及機器人技術、安全和測量技術以及視覺和物聯(lián)網(wǎng)集成領域的所有控制任務。結合模塊化且具備實時能力的 TwinCAT 軟件平臺以及 EtherCAT 超高通信系統(tǒng)，基于 PC 的控制技術可為您的晶圓廠打造出一種既強大又具備前瞻性的自動化解決方案。

✓  開放式架構可實現(xiàn)最大的設計自由度和定制化解決方案

✓  強大的實時環(huán)境，可自動執(zhí)行所有控制任務

✓  通過自由選擇和集成高性能的工業(yè) PC，可以根據(jù)具體的應用需求輕松進行擴展

總結

從打破半導體技術瓶頸到引領半導體設備技術突破路徑，從單點設備突破到全產(chǎn)鏈智能化重構，倍福正以開放架構、精準控制與創(chuàng)新產(chǎn)品，完成半導體設備企業(yè)實現(xiàn)高可靠性，高速度，高精度的設備需求，共赴半導體智能制造新征程。

想了解更多如何通過倍福集成式自動化解決方案為半導體行業(yè)高效生產(chǎn)？歡迎訪問倍福官網(wǎng)一探究竟：半導體行業(yè) | 倍福 中國

　　關于德國倍福

　　倍福（Beckhoff）是一家專注于自動化新技術的德資企業(yè)，創(chuàng)立于1980年，總部位于德國威爾市。作為全球自動化技術的驅動者，倍福定義了自動化領域的許多標準，是國際標準的制定者和推動者。公司所生產(chǎn)的工業(yè) PC、I/O 和現(xiàn)場總線組件、驅動技術、自動化軟件、無控制柜解決方案以及工業(yè)圖像解決方案既可作為獨立的組件使用，也可將它們集成到一個完整的控制系統(tǒng)中，適用于各個行業(yè)領域。經(jīng)過40多年的發(fā)展和努力，倍福已在世界各地設立40家分支機構，加上全球的合作伙伴，業(yè)務遍及75個國家和地區(qū)。

　　倍福于1997年進入中國市場，中國區(qū)總部落戶于上海市北高新產(chǎn)業(yè)園區(qū)，現(xiàn)有員工350人，辦事處遍及國內(nèi)30座大中城市。創(chuàng)新產(chǎn)品和解決方案廣泛應用于半導體、光伏太陽能、風力發(fā)電、鋰電池制造、電子制造、汽車制造、機器人、數(shù)控機床、包裝機械、煙草機械、塑料加工、物流輸送、流程工業(yè)以及智能建筑等眾多領域。

　　公司傾力推廣的 EtherCAT 實時工業(yè)以太網(wǎng)于2014年成為中國國家推薦性標準，并已入編工信部的《國家智能制造標準體系建設指南》。作為一家技術驅動型公司，倍福一直注重在技術上尋求突破創(chuàng)新，在業(yè)內(nèi)享有“創(chuàng)新引擎”的美譽。倍福基于PC的控制技術具有良好的開放性，它支持所有主流的工業(yè)通信協(xié)議，將IT技術、互聯(lián)網(wǎng)和自動化技術完美融合在一起，為實現(xiàn)工業(yè) 4.0 和智能制造奠定了堅實的技術基礎。

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