隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，制造商面臨著提高生產(chǎn)效率和降低成本的挑戰(zhàn)。天車搬運系統(tǒng)（OHT）是半導(dǎo)體制造廠中一種重要的自動搬運系統(tǒng)，通過提高物料運輸效率，降低人力成本和減少污染風(fēng)險，改善整體生產(chǎn)流程。

那有關(guān)天車搬運系統(tǒng)（OHT）大家了解多少呢？

“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的縮寫。主要的搬運移載部件為：晶圓加載機(jī) (LPU, Load-Port Unit) 以及前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，而整個OHT搬運系統(tǒng)的組成部分示意為如圖：

而在這樣高效而復(fù)雜的自動化設(shè)備上，作為傳感器專家的勞易測，又有哪些獨到的產(chǎn)品可以發(fā)揮作用呢。

BPS 8條碼定位系統(tǒng)

助力OHT設(shè)備精準(zhǔn)定位

• 工作距離60~120 mm，緊湊型的設(shè)計，僅60mm的盲區(qū)，特別適用于緊湊型設(shè)備；
• 定位范圍0~10,000,000mm，配合高質(zhì)量的BCB條碼帶可充分滿足行走距離要求；
• 兼容設(shè)備4m/s的移動速度，充分契合OHT設(shè)備3m/s的最大速度需求；
• 5VDC/24VDC（適用MA8適配模塊）多種電壓范圍適合不同電子設(shè)備供電要求；
• RS232/RS485及Modbus數(shù)據(jù)輸出方式，給您提供更多數(shù)據(jù)選擇；
• BCB 條碼帶有標(biāo)準(zhǔn)25mm高度和47mm高度可選，提供定制高度及長度的服務(wù)。

CR 100經(jīng)濟(jì)型固定條碼閱讀器

配合單體條碼附件，可實現(xiàn)OHT小車經(jīng)濟(jì)型定位和換速信號獲取

• 工作距離15~67 mm，小巧的設(shè)計特別適用于緊湊型設(shè)備；
• 700Hz的掃描頻率，配合單體條碼附件滿足高速運行設(shè)備要求；
• 5VDC供電要求，更貼PCB控制板電路設(shè)計；
• RS232數(shù)據(jù)輸出方式，適合單機(jī)設(shè)備使用。

PRK 3C系列傳感器

穩(wěn)定檢測，分毫不差

在通用OHT小車上，需要有穩(wěn)定檢測FOUP存在狀態(tài)的光電傳感器。PRK 3C高性能光電傳感器，實現(xiàn)穩(wěn)定檢測的同時，保證快速響應(yīng)的需求，以及條碼閱讀產(chǎn)品的高速觸發(fā)。

• 帶偏振光鏡片的鏡反射光電傳感器，保證檢測穩(wěn)定性；
• PRK3C.A3同軸光式傳感器，“0”盲區(qū)，即使和反射板貼得再近也有效；
• 1500Hz掃描頻率，高速運動設(shè)備的首選；
• IO-Link的調(diào)整功能，可以使參數(shù)設(shè)定一致性更佳，智能化領(lǐng)先一步。