SK海力士(SK Hynix)為打造全自動化的半導(dǎo)體工廠，表示提升設(shè)備業(yè)者的軟件技術(shù)極為重要，同時強調(diào)需在預(yù)測解決方案方面進行合作。Theelec報導(dǎo)，SK海力士TL鄭有仁(音譯)在SEMICON Korea會議中指出，SK海力士300mm晶圓廠的自動化位在第3~4階段。為邁向第5階段，需與設(shè)備業(yè)、學(xué)界等進行合作。

自動化工程分成1~5個階段，數(shù)字愈高自動化水平愈高，第5階段為全自動化。鄭有仁透露，大多數(shù)最新的半導(dǎo)體廠正在打造3~4階段自動化作業(yè)。可自動完成多項作業(yè)，無需人員監(jiān)控。在良率和生產(chǎn)效率方面，與人類表現(xiàn)相似。

其中，「預(yù)測」是實現(xiàn)智能工廠的最終關(guān)卡。以精準(zhǔn)預(yù)測為基礎(chǔ)，可提升生產(chǎn)效率、良率，減少費用等。鄭有仁指出，在半導(dǎo)體自動化工程中，通過AI、數(shù)字孿生(Digital Twin)技術(shù)的預(yù)測解決方案將變得更為重要，可解決半導(dǎo)體自動化工程中出現(xiàn)的各種問題，如Cue-time排程、OHT(OverHead Transport)路徑設(shè)置。

Cue-time是指規(guī)定每項工程的開始和結(jié)束時間，若超出時間限制，將影響良率及質(zhì)量表現(xiàn)，因此Cue-time排程極為重要。為達自動化，SK海力士最近正在利用AI進行研究，但尚未得到令人滿意的結(jié)果。OHT路徑設(shè)定則是將晶圓按照工藝順序，自動運送到設(shè)備室，SK海力士目前正在利用數(shù)字孿生開發(fā)自動化技術(shù)，并推進模擬開發(fā)作業(yè)，致力于提高預(yù)測精準(zhǔn)度。

為邁向智能廠房第5階段，在優(yōu)化算法的同時，預(yù)測精確度也至關(guān)重要。鄭有仁表示，為準(zhǔn)確預(yù)測工作時間和路徑，需提高半導(dǎo)體設(shè)備的軟硬件技術(shù)。SK海力士將通過與業(yè)界及學(xué)界的合作，在智能工廠第5階段的良率和生產(chǎn)性方面，達到預(yù)期目標(biāo)。