比利時(shí)IMEC與荷蘭HolstCentre開發(fā)出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產(chǎn)品的尺寸也小于原產(chǎn)品，可作為“ElectronicNose（電子鼻）”用于食品管理、醫(yī)療保健以及檢測氣體泄漏等用途。

   該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣，在9mm×9mm的芯片上集成了160個(gè)小型MEMS。每個(gè)MEMS都是“橋”狀振子的一種，嵌入在壓電材料中。

   檢測氣體的原理如下。首先，事先在該傳感器芯片上涂布高分子材料，目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體后，MEMS的共振頻率會(huì)發(fā)生變化，因此壓電材料產(chǎn)生的電位頻率也會(huì)發(fā)生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。

   吸附劑可以通過噴墨的方式分別涂布在每個(gè)MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。

   傳感器的功耗方面，每個(gè)MEMS均不到1μW。

   目前，IMEC等正在推進(jìn)將該傳感器芯片與信號讀取電路集成在一枚芯片上的開發(fā)工作。目前使用的吸附劑組合，可以辨識(shí)葡萄酒和奶酪的香味。據(jù)介紹，將來有可能用于識(shí)別人的哮喘、肺癌以及腎臟病等。