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        中國自動(dòng)化學(xué)會(huì)專家咨詢工作委員會(huì)指定宣傳媒體
        新聞詳情

        新時(shí)達(dá)眾為興FBA系列晶圓機(jī)器人以創(chuàng)新構(gòu)型打破效率閾值

        http://www.kblhh.cn 2025-11-20 09:36 來源:新時(shí)達(dá)

        如何解決國產(chǎn)半導(dǎo)體芯片制造的核心設(shè)備的“卡脖子”問題,成為亟待解決的問題,新時(shí)達(dá)眾為興以串聯(lián)所有晶圓制造工藝設(shè)備“動(dòng)脈”的晶圓傳輸機(jī)器人為切入點(diǎn),憑借自主可控的核心技術(shù)攻克產(chǎn)品研發(fā)難題,為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的安全發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支撐。

        Highlights精彩導(dǎo)讀創(chuàng)新構(gòu)型:單機(jī)型輕松應(yīng)對(duì)復(fù)雜多變的使用場景降本增效:減少空間占用>300%,產(chǎn)能提高>250%,兼容性提升>400%權(quán)威認(rèn)證:產(chǎn)品、車間雙認(rèn)證,晶圓傳輸安全無憂

        半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠潔凈室

        需求驅(qū)動(dòng) 創(chuàng)新巧妙構(gòu)型應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛需求

        在大氣生產(chǎn)環(huán)境下,芯片制造包括光刻、蝕刻、薄膜沉積等前道制程,以及封裝、檢測等后道制程設(shè)備,對(duì)晶圓傳輸機(jī)械手的運(yùn)行速度及穩(wěn)定性都提出了極高的要求。

        為應(yīng)對(duì)實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境對(duì)設(shè)備空間、產(chǎn)能效率、多工序協(xié)同等復(fù)雜要求,新時(shí)達(dá)眾為興FBA系列5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運(yùn)機(jī)器人匠心面世,以其高精度、高運(yùn)行速度等優(yōu)勢特點(diǎn),節(jié)拍突破350WPH,輕松應(yīng)對(duì)晶圓生產(chǎn)過程中的高標(biāo)準(zhǔn)需求。

        1空間使用率提升300%+

        靈活多關(guān)節(jié)設(shè)計(jì),無需行走軸應(yīng)對(duì)多樣性晶圓盒,有效節(jié)約機(jī)械手占用設(shè)備空間。

        2有效應(yīng)對(duì)不同場景,兼容性提升400%+

        應(yīng)對(duì)多工序切換場景(切換晶圓尺寸(8 英寸→12 英寸)、厚度(薄晶圓 / 超薄晶圓)或類型(硅基 / 化合物半導(dǎo)體)),有效提升晶圓片定制化需求。

        3突破上限,產(chǎn)能提高250%+

        突破單臂單手指路徑單一的瓶頸以及多工藝協(xié)同的需求;1000mm的最遠(yuǎn)取片距離,輕松應(yīng)對(duì)多料盒/工位(3-4個(gè)料盒)的晶圓取放片場景。

        權(quán)威認(rèn)證 每一片晶圓的傳輸保障

        為更好服務(wù)客戶,新時(shí)達(dá)眾為興晶圓傳輸機(jī)器人從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到生產(chǎn)環(huán)境都達(dá)到嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)要求,實(shí)現(xiàn)從設(shè)計(jì)、驗(yàn)證到量產(chǎn)的全流程國產(chǎn)化閉環(huán)。

        潔凈車間認(rèn)證在行業(yè)內(nèi)建成首家 Class 1級(jí)潔凈室,并通過德國萊茵TÜV SEMI認(rèn)證及上海國家機(jī)器人檢測與評(píng)定中心潔凈等級(jí)認(rèn)證。

        產(chǎn)品權(quán)威認(rèn)證已獲得SEMI-S2、ETL在內(nèi)的多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及強(qiáng)制產(chǎn)品認(rèn)證。

        當(dāng)今世界全球芯片競爭已是一場關(guān)乎未來科技制高點(diǎn)和國家產(chǎn)業(yè)安全的綜合博弈。對(duì)起步較晚的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備而言,這是一場沒有退路的“馬拉松”。

        為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程的快速迭代,新時(shí)達(dá)眾為興具備針對(duì)不同晶圓廠商在半導(dǎo)體制造各個(gè)工藝段中的非標(biāo)定制化能力,實(shí)現(xiàn)更好貼合原有產(chǎn)線的生產(chǎn)需求,全方位提高芯片產(chǎn)出效率及良品率,為半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代實(shí)現(xiàn)快速、可靠的品質(zhì)服務(wù)。

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