近日，國家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標(biāo)志性項目。其中，由清華大學(xué)與淄博高新區(qū)合作建設(shè)的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目位列其中，這是山東省唯一入選的項目。

MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目是國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司、淄博高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院等單位共同建立的國內(nèi)一流的MEMS代工線。MEMS代工線是國內(nèi)首家專業(yè)化的中試代工平臺，也是山東省第一家批量生產(chǎn)微型傳感器的專業(yè)化平臺。MEMS技術(shù)是特征尺度跨越微米和納米兩個鄰接微小領(lǐng)域的高新技術(shù)，也是信息化、智能化的關(guān)鍵核心技術(shù)，MEMS傳感器技術(shù)具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等諸多優(yōu)勢，是當(dāng)今世界制造業(yè)的趨勢和熱點。

據(jù)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項目負責(zé)人介紹，國高(淄博)微系統(tǒng)公司擁有先進的代工模式，從自主知識產(chǎn)權(quán)、生產(chǎn)控制等方面全方位入手，以智能制造設(shè)備應(yīng)用、裝置自動化方案為基礎(chǔ)，在實現(xiàn)各項生產(chǎn)經(jīng)營管理工作信息化的同時，有效打通了企業(yè)智能制造的數(shù)據(jù)通道。

MEMS孵化器已建成10萬平方米，形成穩(wěn)定的45個單項工藝和17個產(chǎn)品工藝流程。國家高新區(qū)MEMS研究院成立了國內(nèi)MEMS領(lǐng)域15名頂尖專家組成的專家委員會，負責(zé)高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計等器件研發(fā)，引領(lǐng)平臺的發(fā)展方向及工藝評審。去年9月份，清華大學(xué)、同方股份、淄博高新區(qū)三方達成戰(zhàn)略合作協(xié)議，研究院建設(shè)、平臺發(fā)展、基金設(shè)立、項目落地、產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設(shè)等協(xié)議內(nèi)容的各項工作正在快速推進。高新區(qū)將在現(xiàn)有加工設(shè)備條件和環(huán)境下，開展MEMS制造技術(shù)封裝與裝配過程中關(guān)鍵技術(shù)的研究和開發(fā)，真正解決其關(guān)鍵技術(shù)形成核心發(fā)明專利，為進一步的產(chǎn)業(yè)化奠定良好的知識產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)。