近日，國(guó)家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見函，中國(guó)工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個(gè)項(xiàng)目，擬作為《中國(guó)制造2025》2017年重大標(biāo)志性項(xiàng)目。其中，由清華大學(xué)與淄博高新區(qū)合作建設(shè)的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目位列其中，這是山東省唯一入選的項(xiàng)目。

MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目是國(guó)高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司、淄博高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院等單位共同建立的國(guó)內(nèi)一流的MEMS代工線。MEMS代工線是國(guó)內(nèi)首家專業(yè)化的中試代工平臺(tái)，也是山東省第一家批量生產(chǎn)微型傳感器的專業(yè)化平臺(tái)。MEMS技術(shù)是特征尺度跨越微米和納米兩個(gè)鄰接微小領(lǐng)域的高新技術(shù)，也是信息化、智能化的關(guān)鍵核心技術(shù)，MEMS傳感器技術(shù)具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等諸多優(yōu)勢(shì)，是當(dāng)今世界制造業(yè)的趨勢(shì)和熱點(diǎn)。

據(jù)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，國(guó)高(淄博)微系統(tǒng)公司擁有先進(jìn)的代工模式，從自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、生產(chǎn)控制等方面全方位入手，以智能制造設(shè)備應(yīng)用、裝置自動(dòng)化方案為基礎(chǔ)，在實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)管理工作信息化的同時(shí)，有效打通了企業(yè)智能制造的數(shù)據(jù)通道。

MEMS孵化器已建成10萬(wàn)平方米，形成穩(wěn)定的45個(gè)單項(xiàng)工藝和17個(gè)產(chǎn)品工藝流程。國(guó)家高新區(qū)MEMS研究院成立了國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域15名頂尖專家組成的專家委員會(huì)，負(fù)責(zé)高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計(jì)等器件研發(fā)，引領(lǐng)平臺(tái)的發(fā)展方向及工藝評(píng)審。去年9月份，清華大學(xué)、同方股份、淄博高新區(qū)三方達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議，研究院建設(shè)、平臺(tái)發(fā)展、基金設(shè)立、項(xiàng)目落地、產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設(shè)等協(xié)議內(nèi)容的各項(xiàng)工作正在快速推進(jìn)。高新區(qū)將在現(xiàn)有加工設(shè)備條件和環(huán)境下，開展MEMS制造技術(shù)封裝與裝配過(guò)程中關(guān)鍵技術(shù)的研究和開發(fā)，真正解決其關(guān)鍵技術(shù)形成核心發(fā)明專利，為進(jìn)一步的產(chǎn)業(yè)化奠定良好的知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)。