近日，南京理工大學蘇巖團隊在JSSC上發(fā)表了關于微電子機械系統(tǒng)（MEMS）的研究成果。該成果大大提高傳感器的穩(wěn)定性（精度），其性能已達到國際已知最高水平。這是南京理工大學首次以第一作者單位在JSSC上發(fā)表論文,同時也是國內首次在該期刊上發(fā)表物理傳感器方面的文章。自2004年清華大學在JSSC發(fā)表第一篇論文以來，迄今中國大陸地區(qū)僅有清華大學、復旦大學、中科院等少數(shù)幾家單位在該期刊上發(fā)表過21篇論文。

慣性傳感器是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度（DoF）運動的傳感器。采用MEMS工藝制造的慣性傳感器通常只有幾毫米甚至更小；而專用集成電路（ASIC）則可以將成千上萬的晶體管電路集成于一塊芯片，同樣具有尺寸小的特點。兩者都可大批量生產，成本極低。

論文闡述了首個零偏不穩(wěn)定性小于1μg的MEMS諧振梁加速度計的專用信號處理電路，該電路采用一種新型積分器級聯(lián)微分器結構的跨阻式前置放大器，解決了傳統(tǒng)跨阻式放大器設計中增益帶寬積與噪聲間的制約關系，實現(xiàn)了6.6fA/√Hz的輸入電流噪聲，為已報道過的應用于MEMS領域跨阻放大器的最低值。采用該電路構成的芯片式MEMS諧振梁加速度計實現(xiàn)了±20g的量程，0.6μg的零偏不穩(wěn)定性，1.5V低電壓供電，3.5mW的極低功耗。專用集成電路技術可以使傳感器的信號檢測、處理和控制電路芯片化、微小型化、低功耗和低成本，促使傳感器降低功耗、降低成本、減小體積、批量制造。該類型加速度計在軍用及民用導航領域中具有廣闊的應用前景。

因此，專用集成電路技術和MEMS技術將極大地降低慣性傳感器的成本、體積和功耗，使得該類型傳感器可廣泛應用于消費電子類產品中。此外采用高性能ASIC后，還可降低環(huán)境因素及寄生參數(shù)對傳感器性能的影響，大幅提升MEMS慣性傳感器的精度，使該類型傳感器可以在高精度導航制導領域得到應用。諧振式MEMS加速度計則實現(xiàn)了機械敏感結構與ASIC的對接，該傳感器實現(xiàn)了小于1微克的零偏不穩(wěn)定性，為已報道的最高性能。

該傳感器適用于船舶、潛艇等高精度導航系統(tǒng)中，也可應用于無人機導航、可穿戴個人室內導航設備以及汽車穩(wěn)定系統(tǒng)、安全氣囊、游戲手柄、智能手機中。

MEMS團隊負責人蘇巖教授介紹說，研究團隊與新加坡國立大學的許永平教授在MEMS傳感器CMOS專用集成電路方面開展了長期的、富有成效的合作研究。論文第一和第二作者趙陽、趙健同學受團隊委派于2012年至2014年期間赴新加坡國立大學進行聯(lián)合培養(yǎng)，開展MEMS諧振梁加速度計CMOS專用集成電路的研究。研究成果發(fā)表于JSSC，彰顯了南京理工大學在MEMS傳感器專用集成電路設計方面取得了突破性進展，具備了較高的研究水平和能力，提升了學校的國際知名度。