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新松機器人一項成果通過國家驗收
http://www.kblhh.cn 2015-02-28 10:18
2月26日，省科技廳傳來好消息，由沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔的“300mmIC生產線自動物料搬運系統研發與應用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”實施管理辦公室組織的驗收，標志著國內首套應用于300mmIC生產線自動物料搬運系統研制成功。
該項目由新松公司聯合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發中心有限公司等研究院所和企業進行技術攻關，完成了物料控制系統軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫等核心設備的開發，并完成了自動物料搬運系統的示范應用，實現了潔凈物料傳輸系統裝備的國產化，項目合同期內完成了自動物料搬運生產線5條，實現銷售收入1.44億元。
該系統的研制成功打破了國外集成電路裝備企業在國內的壟斷地位，降低了晶圓制造企業生產成本，加速了我國裝備制造業的轉型升級。
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