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MEMS加速度傳感器研究項目獲78萬元立項
http://www.kblhh.cn 2013-09-09 11:24
日前，從國家自然科學基金委員會獲悉，沈陽儀表研究院與沈陽工業大學聯合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批復，項目總經費78萬元，執行年限2014年1月至2017年12月。
該獲批立項項目，將基于納米功能材料設計一種帶有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度傳感器。利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通過對該敏感結構之主梁和微梁的合理設計，解決加速度傳感器中普遍存在的諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，達到均衡提高固有諧振頻率和靈敏度的目的；突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關鍵技術，研制出新型加速度傳感器樣品，并最終驗證這種壓阻加速度傳感器的可行性及優勢。該項目的開展可望在隧道壓阻效應、納米復合膜微梁力學特性以及新型加速度傳感器技術等方面的研究中獲得創新性成果。在傳感技術日益受到高度重視的背景下，這些成果將具有廣闊的應用前景。
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