為滿足半導體設備客戶的需求，中科院射頻電源組（www.rf-power.net）經過2個月的設計研發，于2013年3月正式推出固態RFG-2000高端型射頻電源（3U風冷系列），此型號適用于大腔室刻蝕等半導體設備。此型號帶有RS232/RS485/USB通訊協議，模擬口通訊，脈沖調制，相位同步與移相等功能。

固態RFG-2000高端型射頻電源（3U風冷系列）

　　中國科學院微電子所射頻電源(RF Generator)課題組從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW電子管射頻電源，獲得“ 六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。

　　從2010年開始在極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）項目資金支持下，研發晶體管射頻電源(13.56MHz)，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎。

　　經過二十多年的發展完善，產品的性能不斷提高，規格齊全, 目前開發成熟的電子管與晶體管射頻電源產品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。

　　年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。

　　目前射頻電源組，實行組長負責制，下設三個部門：產品研發部，產品生產部，產品推廣與售后服務部。

　　產品研發部：實行部長負責制，有專業研發人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學歷3人，從清華大學，中科院電工所，中國科學技術大學引進資深射頻技術與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發顧問領導的國際化研發人才團隊。

　　產品生產部：實行部長負責制，有專業技術工程師17人，具有500平方專業射頻電源生產與測試車間（可以進行ESD，EMC等測試），年生產能力達3000臺套，庫房常年備有庫存，可保證給客戶隨時發貨。

　　產品推廣與售后服務部：實行部長負責制，有專業推廣銷售人員4人，專業售后服務人員2人，其中碩士及以上比例100%。

　　射頻電源廣泛應用于等離子體研究，集成電路工藝設備，太陽能光伏工業，LED制程，薄膜生長，射頻感應加熱，醫療領域的消毒與理療美容，常壓等離子體消毒清洗等領域。

　　中國科學院微電子研究所射頻電源組網址：www.rf-power.net