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世界上第一款3D芯片誕生
25個專利保護 1.28億個晶體管內存
http://www.kblhh.cn 2008-09-04 14:49 來源：嵌入式系統與軟件
世界上第一款3D芯片工藝已經準備獲取牌照，該工藝來自于無晶圓半導體設計公司BeSang公司。 BESANG公司制作的用于演示的芯片在其控制邏輯上使用了1.28億個垂直晶體管用作內存位單元。
該芯片的設計在韓國國家Nanofab中心和斯坦福Nanofab進行。BeSang公司稱，該工藝由25個專利保護，將允許FLASH、DRAM以及SRAM放置在邏輯電路、微處理器以及片上系統上。
BeSang公司聲稱該公司在底層使用高溫處理工藝制造邏輯電路，在頂層使用低溫工藝來制造內存電路，從而實現了3D芯片。將不同層的邏輯和內存電路放置在同一個芯片中，BeSang公司的處理工藝晶圓中集成了更多的裸片，從而降低了每個裸片的成本。
BeSang公司工藝過程為，首先在一個晶圓上通過常規的通孔和連接層來制作邏輯電路 ，然后在另一個晶圓上制作內存設備，最后將兩個晶圓排列并粘在一起，從而形成單個3D單元。
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