模擬還是數字？在工業化測量和控制領域，這還存在爭執。盡管問題很簡單，并且有越來越多的數字化產品，但仍然很難下結論。  
　　　
   傳感器設備集成了越來越多的數字化電路和接口。一些控制領域的應用，要求很多不同的輸入以及多變量的處理。這些復雜的要求只有數字電路應付得過來。然而，在另一些應用中，模擬依舊占主導地位。  
　　　
   傳感器提供了數字輸出信號，這需要內部具備集成的電路，如ADC以及串行器。因為制造方式相同，所需材料相同，基于MEMS的傳感器非常適合數字化。  
　　　
   歐洲Measurement Specialties的首席執行官Frank Guidone解釋，“MEMS與集成電路的結合，可以使工業解決方案的設計摒棄那些需要復雜信號處理的傳統技術。”  
　　　
   最近在德國紐倫堡進行的Test+Sensor貿易展覽中，該公司展示了一款基于MEMS的潤滑劑油質傳感器。該設備包括了一個MEMS音叉，可以同時測量潤滑劑的不同指標，如粘度、密度、介電常數以及溫度等。綜合這些指標，該設備可以一分鐘內檢測出潤滑劑的降解。  
　　　
   在一些重型卡車上，這樣的傳感器可以用于離線油質分析，并通知卡車的操作員何時需要換油。Guidone稱，“在現今油價持續高位的形勢下，這將能取得很好的經濟效益。”  
　　　
   ADI公司(Analog Devices Inc.)也將MEMS傳感器與集成電路相結合，開發出一款ADSL001工業振動和沖擊傳感器。