浙江晶盛機(jī)電股份有限公司最早是使用單獨(dú)的過(guò)程和溫度控制系統(tǒng)來(lái)控制半導(dǎo)體單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程。自從改用了倍福基于 PC 的控制技術(shù)后，不僅節(jié)省了成本，而且其可擴(kuò)展性也使項(xiàng)目的實(shí)施變得更加便捷。TwinCAT 軟件還能為客戶(hù)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)注入附加值。

　　浙江晶盛機(jī)電股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)：晶盛機(jī)電）總部位于中國(guó)浙江省，是全球領(lǐng)先的光伏和半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。晶盛機(jī)電憑借其優(yōu)異的設(shè)備工藝和多年積累的豐富行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，長(zhǎng)期位列全球長(zhǎng)晶設(shè)備龍頭。過(guò)去，晶盛機(jī)電一直使用傳統(tǒng)的 PLC 和溫度控制器實(shí)現(xiàn)單晶爐的自動(dòng)化。但溫度控制器的功能有限，并且與 PLC 結(jié)合使用時(shí)靈活性太差。因此，晶盛機(jī)電轉(zhuǎn)而采用倍福控制平臺(tái)，它由嵌入式控制器、TwinCAT 自動(dòng)化軟件和各種 EtherCAT 端子模塊構(gòu)成，并結(jié)合 EtherCAT 工業(yè)以太網(wǎng)總線，能夠輕松、靈活地連接各類(lèi)現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備。這種集成式控制平臺(tái)取代了兩臺(tái)獨(dú)立的設(shè)備，可以更靈活地滿(mǎn)足客戶(hù)的個(gè)性化需求。

　　穩(wěn)定的工藝控制是重中之重

　　單晶生長(zhǎng)需要特定的溫度條件。硅原料首先在熔爐中被加熱熔化成液態(tài)硅，然后提拉頭上的單晶籽晶被浸入熔融的硅液中，開(kāi)始進(jìn)行晶體生長(zhǎng)。熔融硅液必須保持在一定溫度，緩慢旋轉(zhuǎn)籽晶，并向上提拉，使熔融硅液凝固，逐漸長(zhǎng)大到所需直徑的單晶硅錠。半導(dǎo)體單晶硅的優(yōu)點(diǎn)是其取向非常均勻，因此具有較高的轉(zhuǎn)換效率，它們被切割成硅片后可用于制作太陽(yáng)能電池組件。

　　這需要精確的順序控制和長(zhǎng)時(shí)間（數(shù)天至半個(gè)月）穩(wěn)定的生長(zhǎng)過(guò)程控制。其中，溫度控制尤為重要，因?yàn)闇囟炔痪鶆蚩赡軙?huì)導(dǎo)致多晶材料在生長(zhǎng)時(shí)出現(xiàn)晶格結(jié)構(gòu)缺陷。單晶爐持續(xù)運(yùn)行時(shí)，控制系統(tǒng)需要處理大量數(shù)據(jù)。不過(guò)，這對(duì)于倍福的嵌入式控制器來(lái)說(shuō)不成問(wèn)題。適合 DIN 導(dǎo)軌安裝的工業(yè)級(jí)控制器在惡劣的環(huán)境條件下表現(xiàn)相當(dāng)出色。晶盛機(jī)電一開(kāi)始使用的是 CX1030 嵌入式控制器，隨著項(xiàng)目需求的增加，目前采用 CX9020 或 CX8190 作為中央設(shè)備控制器。隨著 CPU 性能的不斷提升，倍福控制器的性能也逐年增強(qiáng)，幫助晶盛機(jī)電不斷優(yōu)化和提升其控制系統(tǒng)，從而提高了產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。

　　晶盛機(jī)電主要使用 TwinCAT 2 控制軟件，但對(duì)于某些項(xiàng)目需要使用新功能時(shí)，可以方便地切換到 TwinCAT 3 軟件平臺(tái)。在進(jìn)行切換時(shí)，只需對(duì)代碼稍作改動(dòng)，就可以擴(kuò)展和升級(jí)原有項(xiàng)目。此外，TwinCAT 還支持多種通信協(xié)議，可以實(shí)現(xiàn)主控制系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)和磁場(chǎng)產(chǎn)生系統(tǒng)等子系統(tǒng)的通信。這樣可以無(wú)縫地傳輸和共享信息，提高系統(tǒng)的整體效率和協(xié)同性。

　　晶盛機(jī)電高級(jí)專(zhuān)家王先生

　　對(duì)倍福軟硬件平臺(tái)給予了很高的評(píng)價(jià)：

　　“TwinCAT 軟件成熟穩(wěn)定，其靈活的編程方式方便處理各類(lèi)數(shù)據(jù)。此外，基于 PC 的控制架構(gòu)簡(jiǎn)化了控制器與集控系統(tǒng)的連接，從而簡(jiǎn)化了生產(chǎn)系統(tǒng)和企業(yè)系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)交換。”

　　單晶爐不間斷穩(wěn)定運(yùn)行數(shù)天至兩周是確保高質(zhì)量半導(dǎo)體單晶生長(zhǎng)的重要前提

　　由于 EtherCAT 具有實(shí)時(shí)通信能力，晶盛機(jī)電可以從眾多可用的 EtherCAT 端子模塊中進(jìn)行選擇。

　　王先生解釋道：“EtherCAT 的分布式 I/O 模塊給項(xiàng)目帶來(lái)了極大的便利，拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)靈活不受限制，具有非常多樣的配置選擇。我們可以根據(jù)不同項(xiàng)目的需求與成本進(jìn)行選擇。倍福的 EtherCAT 產(chǎn)品簡(jiǎn)單易用且兼容性好，可替換不同廠家的從站產(chǎn)品，在保證 EtherCAT 產(chǎn)品一致性前提下完全不影響整體性能和穩(wěn)定性。由于 EtherCAT 無(wú)需交換機(jī)或其它有源器件，安裝和維護(hù)成本大大降低，同時(shí)也簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的布線和調(diào)試工作。”

　　多任務(wù)處理便于程序加密

　　單晶爐控制程序的核心之一是溫度控制，客戶(hù)需要高度保密這部分知識(shí)產(chǎn)權(quán)。TwinCAT 模塊化自動(dòng)化軟件的優(yōu)勢(shì)在于，用戶(hù)可以方便地將整套控制程序根據(jù)其重要性，分離出多套子任務(wù)程序由不同用戶(hù)獨(dú)立管理。不同子任務(wù)程序的數(shù)據(jù)交換可通過(guò)變量映射實(shí)現(xiàn)。這些任務(wù)將在 TwinCAT 的 Runtime 中被調(diào)用。這種模塊化的設(shè)計(jì)使得系統(tǒng)的維護(hù)和開(kāi)發(fā)更加靈活和高效。晶盛機(jī)電采用多 PLC 任務(wù)處理，將核心工藝算法封裝在單個(gè) PLC 程序中。為了保護(hù)核心算法程序的安全性，晶盛機(jī)電將程序保存為無(wú)法反編譯的二進(jìn)制代碼。此外，程序部署也非常方便，只需要復(fù)制這些二進(jìn)制代碼文件到目標(biāo)控制器上，即可實(shí)現(xiàn)程序的下載。

　　隨著新一輪技術(shù)創(chuàng)新的迭代升級(jí)，王先生說(shuō)道：“晶盛機(jī)電推出了基于開(kāi)放平臺(tái)架構(gòu)的第五代單晶爐，其最大的亮點(diǎn)在于改變了傳統(tǒng)的封閉控制系統(tǒng)模式，配置了基于開(kāi)放架構(gòu)的用戶(hù)可編程的軟件定義工藝平臺(tái)。該平臺(tái)可以基于 TwinCAT 的 Automation Interface 功能通過(guò)高級(jí)語(yǔ)言編程自動(dòng)創(chuàng)建 TwinCAT XAE 組態(tài)實(shí)現(xiàn)。終端客戶(hù)可根據(jù)平臺(tái)接口，將自己的特殊制程工藝制作成模塊供平臺(tái)調(diào)用。這大大提高了終端用戶(hù)開(kāi)發(fā)個(gè)性化工藝的能力，助力他們?cè)诩夹g(shù)上持續(xù)創(chuàng)新提升競(jìng)爭(zhēng)力。”

　　2023 年，晶盛機(jī)電代表團(tuán)訪問(wèn)了倍福威爾總部（從左到右）：何超博士（負(fù)責(zé)倍福中國(guó)的區(qū)域銷(xiāo)售經(jīng)理，來(lái)自倍福德國(guó)總部）、華長(zhǎng)盛博士（倍福中國(guó)銷(xiāo)售總監(jiān)）、馬興凱（倍福中國(guó)總經(jīng)理）、Hans Beckhoff（倍福全球總裁）、曹建偉博士（晶盛機(jī)電董事長(zhǎng)）、涂瑾（晶盛機(jī)電總裁助理）和 Kai Ristau（倍福全球銷(xiāo)售總監(jiān)）

　　關(guān)于德國(guó)倍福

　　倍福（Beckhoff）是一家專(zhuān)注于自動(dòng)化新技術(shù)的德資企業(yè)，創(chuàng)立于 1980 年，總部位于德國(guó)威爾市。作為全球自動(dòng)化技術(shù)的驅(qū)動(dòng)者，倍福定義了自動(dòng)化領(lǐng)域的許多標(biāo)準(zhǔn)，是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的制定者和推動(dòng)者。公司所生產(chǎn)的工業(yè) PC、現(xiàn)場(chǎng)總線模塊、驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品和 TwinCAT 自動(dòng)化軟件構(gòu)成了一套完整的、相互兼容的控制系統(tǒng)，可為各個(gè)工控領(lǐng)域提供開(kāi)放式自動(dòng)化系統(tǒng)和完整的解決方案。經(jīng)過(guò) 40 年的發(fā)展和努力，倍福已在世界各地設(shè)立 30 多家分支機(jī)構(gòu)，加上全球的合作伙伴，業(yè)務(wù)遍及 70 多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

　　倍福于 1997 年進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)，中國(guó)區(qū)總部落戶(hù)于上海市北高新產(chǎn)業(yè)園區(qū)，現(xiàn)有員工 300 人，辦事處遍及國(guó)內(nèi) 30 座大中城市。創(chuàng)新產(chǎn)品和解決方案廣泛應(yīng)用于風(fēng)力發(fā)電、半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、電子制造、金屬加工、包裝機(jī)械、印刷機(jī)械、塑料加工、輪胎加工、木材加工、玻璃機(jī)械、物流輸送以及樓宇自動(dòng)化等眾多領(lǐng)域。

　　公司傾力推廣的 EtherCAT 實(shí)時(shí)工業(yè)以太網(wǎng)于 2014 年成為中國(guó)國(guó)家推薦性標(biāo)準(zhǔn)，并已入編工信部的《國(guó)家智能制造標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)指南》。作為一家技術(shù)驅(qū)動(dòng)型公司，倍福一直注重在技術(shù)上尋求突破創(chuàng)新，在業(yè)內(nèi)享有“創(chuàng)新引擎”的美譽(yù)。倍福基于 PC 的控制技術(shù)具有良好的開(kāi)放性，它支持所有主流的工業(yè)通信協(xié)議，將 IT 技術(shù)、互聯(lián)網(wǎng)和自動(dòng)化技術(shù)完美融合在一起，為實(shí)現(xiàn)工業(yè) 4.0 和智能制造奠定了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。

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